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布鲁克光学轮廓仪操作流程与日常维护规范

产品简介

布鲁克光学轮廓仪操作流程与日常维护规范
布鲁克ContourX-200三维光学轮廓仪的操作规范性与维护频率,直接影响测量结果的可靠性与设备使用寿命。以下从标准操作与维护要点两方面展开说明。

产品型号:ContourX-200
更新时间:2025-10-13
厂商性质:代理商
访问量:34
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布鲁克光学轮廓仪操作流程与日常维护规范

布鲁克ContourX-200三维光学轮廓仪的操作规范性与维护频率,直接影响测量结果的可靠性与设备使用寿命。以下从标准操作与维护要点两方面展开说明。


标准操作流程


  1. 开机准备:检查电源电压(220V/50Hz)与环境温湿度(推荐20-25℃,40-60%RH),打开设备总电源,等待3分钟初始化控制系统。启动配套软件,确认光学系统、运动平台状态显示“就绪"。


  2. 样品装载:松开样品平台固定旋钮,将样品轻置于微晶玻璃基板上。对于不规则样品,可使用真空吸附夹具固定(需提前开启真空泵)。通过软件预览光学图像,调节平台X/Y轴位置,使样品待测区域居中。


  3. 参数设置:根据样品特性选择测量模式(如“高反射"“低反射"),设置扫描范围(Z轴高度)与分辨率(如0.5μm像素间距)。点击“自动聚焦",设备将通过干涉条纹对比度优化Z轴位置。


  4. 数据采集与分析:启动扫描后,软件实时显示三维形貌预览图。扫描完成后,可导出RAW、PLY或CSV格式数据,使用配套分析软件测量粗糙度(Ra/Rz)、台阶高度、曲率半径等参数。


  5. 关机与归位:测量结束后,将Z轴升至最高位,关闭光学光源,退出软件并切断总电源。长期停机(>7天)时,需用防尘布覆盖设备,避免灰尘附着光学镜片。



日常维护要点


  • 清洁:每日用干燥软毛刷清理样品平台表面颗粒;每周用无水乙醇(分析纯)擦拭光学窗口与物镜(避免用力按压),去除指纹或油污;每月清洁散热风扇滤网(位于设备背部),防止灰尘堆积影响散热。


  • 校准:每季度使用标准台阶样件(如NIST认证的10μm台阶片)验证测量精度,若偏差超过±1%,需联系工程师重新校准Z轴与物镜倍率。


  • 环境监控:避免设备暴露在强磁场(>100Gauss)或强振动源(如离心机)附近,实验室需配备稳压电源(波动<±5%),防止电压不稳损坏电子元件。



通过规范操作与定期维护,ContourX-200可在3-5年内保持稳定的测量性能,降低用户的长期使用成本。布鲁克光学轮廓仪操作流程与日常维护规范



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