ZYGO 3D光学轮廓仪附件与选型建议
一、核心附件类型与适配场景
（一）样品台类附件
适配柔性薄膜、轻薄样品（如 PET 膜、金属箔），通过 0.03-0.05MPa 可调吸附压力，使样品平整贴合台面，避免测量时褶皱。安装时直接替换原有样品台，连接设备自带气路接口即可使用，适合半导体薄膜、光学薄膜等需高精度平整测量的场景。
X/Y 轴行程 100mm×80mm，定位精度 0.0005mm，支持预设 10 个测量点位，自动完成多区域批量检测。需在 MetroPro 软件中 “设备设置" 里勾选 “自动样品台" 并校准，适配半导体晶圆、批量机械零件等需高效检测的场景，可将单批次检测时间缩短 40%。
（二）光学类附件
安装在物镜与干涉仪之间，通过调节偏振角度（0°-90°）减少透明样品（如玻璃、树脂）的反光干扰，提升成像对比度。在光学镜片、透明陶瓷检测中启用，配合软件 “增强对比度" 功能，可使表面纹理清晰度提升 30%。
100X 倍率，水平分辨率 0.32μm、垂直分辨率 0.03nm，适配微小结构测量（如芯片纳米级凸起、光学元件微透镜）。更换时需轻拧原物镜后装新物镜，再通过软件 “物镜校准" 功能用标准样板验证精度，适合精密半导体、微光学器件检测场景。
（三）辅助类附件
2mm 厚坡莫合金材质，放置在样品台与设备主体间，削弱磁性样品（如永磁体、电磁铁芯）的磁场干扰。无需复杂安装，直接铺垫即可，适配机械领域磁性零件（如电机铁芯）的表面粗糙度、台阶高度测量，可将磁场导致的测量偏差控制在 0.002μm 内。
包含台阶样板（高度 0.1μm、1μm、10μm）、粗糙度样板（Ra=0.01μm、0.1μm、1μm），用于设备日常校准与精度验证。每次更换物镜或维护后，用对应样板校准，确保测量误差符合要求，是实验室计量、质量管控的备附件。
二、软件扩展功能
需在 MetroPro 软件中输入授权码激活，新增 “3D 模型对比"“缺陷统计分析" 功能：前者可将测量的 3D 形貌与 CAD 设计模型叠加，自动标注偏差区域；后者支持统计缺陷数量、尺寸分布，并生成直方图报告。适配精密模具、航空零件等需深度数据分析的场景。
安装远程控制插件后，在局域网内通过电脑、平板端访问设备，实现远程启动测量、查看数据。需在软件 “网络设置" 中配置 IP 地址，支持 3 个用户同时访问，适配多实验室协作、无人值守检测场景，方便异地数据共享。
三、设备选型建议
（一）按行业场景选型
优先选 “基础机 + 自动样品台 + 100X 物镜 + 偏振光模块"，满足晶圆批量检测、芯片纳米级结构测量需求，兼顾效率与精度。
推荐 “基础机 + 真空吸附样品台 + 偏振光模块 + 标准样板套装"，适配透明光学元件（镜片、薄膜）的平整度、厚度测量，确保光学性能检测准确。
可选 “基础机 + 防磁屏蔽板（按需）+50X 物镜"，满足机械零件表面粗糙度、台阶高度测量，若需批量检测可加配自动样品台。
（二）选型注意事项
精度匹配：根据测量需求选择物镜（低精度选 5X-20X，高精度选 50X-100X），避免过度追求高倍导致效率浪费；
功能适配：柔性样品必选真空吸附样品台，透明样品优先加偏振光模块，批量检测再考虑自动样品台；
后续扩展：预留附件接口（如气路、数据接口），方便后期加装新附件，减少设备更换成本。
通过合理搭配附件与扩展功能，ZeGage Pro 可进一步适配多领域复杂测量需求，而科学的选型则能确保设备性能与实际需求精准匹配，大化发挥其检测价值。
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