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ZYGO 3D光学轮廓仪维护与故障排除通过定期维护与快速故障排查，可延长 ZeGage Pro 使用寿命），保障 3D 形貌测量的精度与稳定性，减少设备停机时间。
ZYGO 3D光学轮廓仪维护与故障排除
物镜组：每次使用后，用专用镜头纸蘸镜头清洁剂（型号 ZGP-CL01）轻轻擦拭镜片表面，去除指纹与灰尘；每使用 30 次，用压缩气吹（压力≤0.3MPa）清洁物镜接口缝隙，避免灰尘堆积影响光路。若物镜出现划痕或镀膜脱落，需更换对应倍率物镜（如 50X 物镜型号 ZGP-OBJ50），不可继续使用以防测量偏差。
光源组件：每季度检查 LED 光源亮度（软件 “光源检测" 功能），若亮度衰减超 20%，需更换光源模块（型号 ZGP-LS01）；光源散热鳍片每 2 个月用无尘布清洁，避免灰尘堵塞影响散热，导致光源寿命缩短。
干涉仪模块：每半年由专业人员拆解检查棱镜与分光膜，若发现棱镜表面污渍，用无水乙醇蘸取镜头纸轻轻擦拭；分光膜若出现破损，需返厂维修，不可自行拆解以免损坏精密部件。
手动样品台：导轨每 1 个月涂专用润滑脂（型号 ZGP-GR01），涂抹量以覆盖导轨表面薄薄一层为宜，避免过多导致灰尘吸附；移动旋钮若出现卡顿，检查导轨是否有杂质，清洁后仍卡顿需调整旋钮松紧螺丝（顺时针调紧，逆时针调松）。
自动样品台（选配）：每月检查电机连接线是否松动，若出现定位偏差（如预设坐标与实际位置偏差超 0.001mm），需在软件 “样品台校准" 中用标准样板重新校准；电机每使用 6 个月，由专业人员检查内部齿轮磨损情况，磨损严重需更换电机组件（型号 ZGP-MT01）。
软件系统：每 3 个月从 ZYGO 下载最新版 MetroPro 软件，更新前备份测量数据与自定义模板，避免数据丢失；若软件频繁闪退，检查电脑系统是否兼容（需 Windows 10 及以上），或重装软件修复故障。
电路模块：每年检查设备电源线、数据线接口是否有氧化、破损，若有需更换对应线缆（电源线型号 ZGP-PW01，USB 数据线型号 ZGP-USB01）；设备内部电路板每半年由专业人员用压缩气吹清灰，避免灰尘导致短路。
现象：测量标准样板（如已知 Ra=0.02μm）时，实测值偏差超 0.005μm；
排查与解决：
检查物镜是否清洁，若有污渍按维护流程清洁；
确认样品台是否水平，用水平仪校准（气泡需居中），若不水平调整底部脚垫高度；
软件中重新执行 “系统校准"（用原厂标准样板），校准后重新测量，偏差通常可恢复至允许范围。
现象：扫描时实时成像模糊，无法清晰捕捉样品细节；
排查与解决：
检查光源亮度，若亮度不足更换光源模块；
透明样品需开启 “偏振光 + 增强对比度" 功能，调整光源角度（软件 “光源角度" 设置，0°-90° 可调）；
物镜未安装到位，顺时针轻拧物镜至贴合接口，确保光路同轴。
现象：软件无法识别设备，显示 “连接失败"；
排查与解决：
检查 USB 数据线是否插紧，更换原厂数据线重试；
设备电源未开启或供电异常，确认电源指示灯亮（绿色），若不亮检查电源线与插座；
电脑设备管理器中查看 “ZeGage Pro" 驱动是否正常，若显示黄色感叹号，卸载后重装最新驱动。
维护周期表：
日常：实验后清洁物镜、样品台；
每月：样品台导轨润滑、光源亮度检查；
每季度：干涉仪外部清洁、软件更新；
每半年：电路模块清灰、自动样品台校准；
每年：全面系统校准、线缆接口检查。
安全规范：
维护前需关闭设备电源，拔下电源线，避免触电；
清洁光学部件时禁止用普通纸巾、棉签，防止划伤镜片；
更换光源、电机等部件时，需佩戴防静电手环，避免静电损坏电子元件。
ZYGO 3D光学轮廓仪维护与故障排除