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ZYGO 3D光学轮廓仪精特殊样品适配方案通过针对性适配方案，ZeGage Pro 可突破柔性、磁性、透明脆性样品的测量限制，满足更多非常规场景的 3D 形貌测量需求。
ZYGO 3D光学轮廓仪精特殊样品适配方案
固定方式：选用真空吸附样品台（选配，型号 ZGP-ST01），吸附压力设为 0.03-0.05MPa（根据薄膜厚度调整，薄膜用低压力），使薄膜平整贴合台面，避免褶皱；
光学调整：若薄膜透明，开启软件 “偏振光 + 增强对比度" 功能，调整光源亮度至 80%（常规 50%），提升表面纹理成像清晰度；
参数设置：选 20X 物镜（平衡范围与精度），扫描范围 1mm×1mm，数据点密度 800 点 /mm²，扫描速度调慢至 0.5 秒 / 帧（减少气流对薄膜的扰动）。
磁场屏蔽：在样品台与设备主体间加装坡莫合金屏蔽板（厚度 2mm，型号 ZGP-SH01），削弱磁场对光学系统的影响；
样品清洁：测量前用无磁毛刷清扫零件表面铁屑，再用无水乙醇擦拭，避免杂质附着；
参数校准：更换磁性样品后，用标准台阶样板（非磁性材质，已知高度 0.5mm）重新校准，确保垂直测量误≤0.01μm；
硬件选择：选 5X 或 10X 物镜（低倍物镜金属部件少，受磁场影响小），避免用 50X 高倍物镜（精密部件多，易受干扰）。
夹持方式：用硅胶材质柔性夹具（硬度 50 Shore A），夹持力控制在 5-10N（通过夹具调节螺丝微调），避免样品受力碎裂；
光学优化：在样品底部垫黑色吸光衬垫（厚度 1mm，型号 ZGP-LN01），减少底面反射光干扰；软件选择 “透明样品专用算法"，增强层间信号识别；
参数设置：选 50X 物镜（测厚度）或 10X 物镜（测平整度），扫描范围 0.5-2mm×0.5-2mm，数据点密度 1000 点 /mm²，确保捕捉层间细节。
样品预处理：无论何种特殊样品，均需清洁表面（无油污、杂质），避免影响成像与数据；
分步测试：首测量特殊样品时，先小范围扫描（如 0.2mm×0.2mm），验证参数与适配方案是否可行，再扩大扫描范围；
数据对比：对同一特殊样品重复测量 3 次，若数据偏≤0.01μm，说明适配方案稳定，可批量测量。
ZYGO 3D光学轮廓仪精特殊样品适配方案