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ZYGO 3D光学轮廓仪精密机械领域应用通过在精密机械领域的应用，ZeGage Pro 以非接触测量优势，精准把控零件表面质量、尺寸精度与缺陷状态，为机械制造的精度提升提供可靠数据支撑。
ZYGO 3D光学轮廓仪精密机械领域应用
硬件选择：根据零件尺寸选物镜，小尺寸零件（如微型齿轮）用 20X 物镜（水平分辨率 0.8μm），大尺寸零件（如轴承外圈）用 5X 物镜（覆盖更大测量区域）；
参数设置：扫描范围 2-10mm×2-10mm（匹配零件待测区域），数据点密度 500-800 点 /mm²（平衡测量精度与速度），无需开启特殊功能（金属零件反光较弱，常规成像即可）；
测量流程：将零件固定在样品台（用磁性夹具固定金属零件，避免移位），手动移动样品台使待测区域对准物镜，自动对焦后启动扫描（约 20-40 秒 / 次），软件生成 3D 表面形貌图。
软件自动计算 Ra、Rz 值，若 Ra=1.0μm 超标准（≤0.8μm），反馈至零件加工工艺（如调整铣削转速、更换砂轮粒度）；
生成粗糙度分布曲线，直观显示零件表面高低起伏状态，判断是否存在局部粗糙度过高区域（如齿轮齿根位置），指导工艺优化。
硬件选择：选用 10X 物镜（水平分辨率 1.6μm，垂直分辨率 0.1nm，兼顾范围与精度），若批量检测可选自动样品台（预设多个台阶测量点位）；
参数设置：扫描范围 1-3mm×1-3mm（覆盖台阶及两侧区域），数据点密度 1000 点 /mm²（精准捕捉台阶边缘），开启 “台阶分析" 专用功能；
测量流程：扫描完成后，在软件中用鼠标框选台阶两侧平面区域，软件自动识别台阶边缘，计算高度值（如台阶设计高度 0.5mm，实测 0.503mm）。
对比实测值与设计值，偏差超 0.005mm 时（如 0.506mm），调整加工设备（如铣床进给量）；
统计同一零件不同位置台阶高度的一致性（如模具四周台阶高度偏差≤0.003mm），确保零件整体装配精度。
硬件选择：选用 50X 物镜（水平分辨率 0.64μm，可识别 0.1μm 以上缺陷），搭配高亮度 LED 光源（增强缺陷与零件表面的对比度）；
参数设置：扫描范围 0.5-1mm×0.5-1mm（聚焦疑似缺陷区域），数据点密度 1200 点 /mm²（清晰呈现缺陷细节），开启 “缺陷识别" 功能（设置缺陷阈值：划痕宽度≥0.1μm、深度≥0.05μm）；
测量流程：人工观察零件表面，标记疑似缺陷位置，移动样品台至对应区域扫描，软件自动标红符合阈值的缺陷，统计数量与尺寸（如划痕长度 0.8μm、宽度 0.12μm）。
若缺陷数量超 3 处 / 零件或单个缺陷尺寸超 1μm，判定零件不合格，需返修（如抛光去除划痕）；
分析缺陷产生原因（如加工过程中刀具磨损导致划痕），及时更换加工工具，减少不合格品率。
金属零件测量前需清洁表面油污、铁屑（用无水乙醇擦拭，晾干后测量），避免杂质干扰数据；
易变形零件（如薄型金属片）需用柔性夹具固定，避免夹持力过大导致零件变形；
测量大重量零件（≤5kg）时，缓慢放置在样品台中心，避免压损样品台导轨。
ZYGO 3D光学轮廓仪精密机械领域应用