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ZYGO 3D光学轮廓仪光学元件检测应用光学透镜（如相机镜头、显微镜物镜）的表面粗糙度、曲率半径直接影响成像质量，需测量表面 Ra 值（≤0.01μm）、曲率半径（差≤0.1%），确保无划痕、凹陷等缺陷
ZYGO 3D光学轮廓仪光学元件检测应用
硬件选择：根据透镜尺寸选物镜，小口径透镜（直径≤5mm）用 20X 物镜（水平分辨率 0.8μm），大口径透镜（直径＞5mm）用 10X 物镜（覆盖更大范围）；
参数设置：扫描范围 1-5mm×1-5mm（匹配透镜测量区域），数据点密度 1000 点 /mm²（捕捉微观粗糙度），开启 “偏振光" 功能（减少透明透镜反光干扰）；
测量流程：用专用夹具固定透镜（避免按压变形），自动对焦后扫描（约 25 秒 / 次），软件生成 3D 表面形貌图。
软件计算 Ra 值，若超 0.01μm，反馈至透镜抛光工艺（调整抛光轮转速、磨料粒度）；
选择 “曲率分析" 模块，自动拟合透镜曲面，输出曲率半径数据（如 R=20.05mm），与设计值（20mm）对比，偏差超 0.1% 需重新加工。
硬件选择：选用 50X 物镜（垂直分辨率 0.05nm，精准捕捉薄膜层间信号），搭配白光干涉模块；
参数设置：扫描范围 0.2mm×0.2mm（薄膜局部区域），数据点密度 1200 点 /mm²，开启 “薄膜分析" 专用算法；
测量流程：将薄膜样品（如玻璃基底镀膜）放在样品台，扫描后软件自动识别薄膜上下表面（基于折射率差异），计算厚度值。
软件生成厚度分布热力图，标注厚度偏差超 5nm 的区域（如边缘区域厚度 480nm，中心 495nm），指导镀膜工艺调整（如优化镀膜机靶材位置）；
统计整片薄膜的厚度均匀性（如平均厚度 490nm，偏差 ±3nm），作为薄膜合格判定依据。
硬件选择：选用 10X 物镜（覆盖棱镜表面与棱角区域），搭配自动样品台（便于多角度测量）；
参数设置：扫描范围 3mm×3mm（含棱镜棱角与表面），数据点密度 800 点 /mm²，开启 “缺陷识别" 功能（阈值设为划痕宽度≥1μm）；
测量流程：自动样品台移动至棱镜不同区域（表面、棱角），分次扫描（约 30 秒 / 区域），软件整合多区域数据。
软件测量棱镜棱角角度（如直角棱镜 90.05°），偏差超 0.1° 需重新研磨棱角；
自动标红划痕缺陷（如宽度 1.2μm 的划痕），统计缺陷数量，超 3 处 / 片需返修。
光学元件表面禁触碰，需戴无尘手套操作，避免指纹、灰尘污染测量区域；
测量透明元件时，确保样品台水平（用水平仪校准），防止样品倾斜导致测量偏差；
不同材质元件（如玻璃、塑料基底）需调整 “折射率参数"（软件内置常见材质折射率数据库），确保厚度、曲率计算准确。
ZYGO 3D光学轮廓仪光学元件检测应用