S neox针对光学元件检测配备专属附件,包括0.65X Michelson物镜,能以大视野快速测量平面度。机身采用防光干扰设计,外壳哑光处理减少杂散光,内部光学通道经过遮光优化。检测平台配备真空吸附装置,可稳固固定透镜、棱镜等光滑样品,避免夹持变形。软件内置光学元件专用模板,包含曲率半径、面型误差等参数的一键分析功能。
二、性能聚焦:面型与粗糙度精准捕捉
干涉模式下的 PSI 技术能实现亚纳米级纵向分辨率,搭配低倍率物镜可在大视野下保持高精度,适合透镜面型检测。共聚焦模式配合 150x 高倍率物镜,能测量光学表面>70° 的局部斜面。针对高反射样品,采用抗反射涂层镜头,减少光线反射干扰,提升成像质量。检测数据符合 ISO 12775 标准,可直接用于光学元件质量评估。