
Sensofar S neox 共聚焦白光干涉光学轮廓仪的核心优势在于技术融合,将共聚焦显微、白光干涉与多焦面叠加三大技术集成于同一平台。这种设计无需更换设备或模块,就能应对从超光滑到粗糙的各类表面测量需求。机身采用航空级铝合金框架,搭配低膨胀玻璃陶瓷光路基座,即便环境温度有微小波动,也能保持测量稳定性。
传感器头内置无运动部件的 FLCOS 微显示扫描引擎,通过铁电液晶技术实现高速光路切换,寿命可超过 20000 小时,功耗却低于 30W。镜头部分配备可容纳六个物镜的电动鼻轮,能自动切换不同倍率镜头并完成焦平面校准,搭配环形 LED 光源,可提供均匀照明,增强信号采集效果。
二、性能与用材:稳定耐用的支撑
性能方面,共聚焦模式下横向分辨率可达 0.10μm,白光干涉模式则能实现 0.1nm 量级的纵向分辨率,而多焦面叠加技术可测量斜率达 86° 的陡峭表面。500 万像素 CMOS 相机的数据传输速率达 180fps,单次扫描时间可缩短至 3 秒,适合高效检测场景。
用材上,核心光学元件采用高透光率材料,配合多层镀膜减少光线损耗;电子元件选用可靠品牌,降低长期使用的故障风险。设备防护等级达 IP54,能适应实验室与车间等不同环境,机身尺寸控制在 600×500×750mm,兼顾稳定性与空间适配性。
三、型号分类与场景适配
S neox 系列包含基础版、进阶版与定制版等多款型号。基础版 S neox 3 配备 20× 共聚焦物镜,检测范围 5μm-3mm,适用于塑料零件粗糙度筛查等常规场景;进阶版 S neox 5 搭载 150× 高数值孔径物镜与五轴旋转台,支持多区域连续扫描,适合半导体金线检测、光学镜片面型分析等精密需求;定制版可拓展大尺寸承载平台或无菌操作舱,适配医疗植入体检测、航空叶片形貌分析等特殊场景,最大可承载 15kg 样品。
另有 S neox Grand Format 型号,提供 600×600mm 的移动范围,经认证可用于半导体、显示器等行业的大型面板测量。
四、操作与软件:便捷高效的体验
操作流程十分简便:开机预热 10 分钟后,系统自动完成光路校准;将样品放置在 XY 平台,通过电动倾斜台 3 秒内即可自动调平。在 SensoSCAN 软件中,“自动 3D 功能" 能自行判断照明与测量范围,点击启动即可完成检测,新手也能快速上手。
软件内置 30 余种行业模板,支持 ISO 标准参数计算与批量报告导出,还可创建自定义分析模板,应用于重复检测场景。搭配自动基准识别功能,基于图案匹配算法实现全自动化操作,无需人工干预,满足 24 小时质检需求。
从科研实验室到工业生产线,S neox 共聚焦白光干涉光学轮廓仪凭借技术融合与灵活设计,成为多领域的实用测量工具。Sensofar共聚焦三维轮廓仪技术融合的巧思