Sensofar S neox共聚焦白光干涉光学轮廓仪的稳定性源于精密的结构设计。机身采用航空级铝合金一体成型框架，重量轻且刚性强，能有效抵御外部振动干扰。内部光路搭载低膨胀玻璃陶瓷基座，这种材料热稳定性优异，在温度波动小于0.1℃时，测量误差可保持稳定不变。核心的 FLCOS 微显示扫描引擎采用无运动部件设计，避免了机械磨损带来的精度下降问题，使用寿命超过 20000 小时。光路系统密封在防尘罩内，搭配 IP54 防护等级，能隔绝粉尘与水汽，适应车间、实验室等多种环境。设备还配备主动隔振模块，可进一步抵消环境振动影响。
性能稳定性体现在全测量流程中。共聚焦与白光干涉双技术融合，可根据样品表面特性自动切换优模式：光滑表面启用白光干涉模式，凭借多步相位移算法实现稳定的纵向分辨率；粗糙表面则切换至共聚焦模式，通过高数值孔径物镜捕捉细微纹理。
Z 轴采用闭环控制技术，行程不低于 10mm，支持全量程无缝拼接，多次测量同一位置的重复性误差能控制在较低范围。实时环境补偿算法（REC）是另一大亮点，在振动幅度超过 100nm 的条件下，仍能稳定输出数据，某汽车零部件厂曾用其在无气浮隔振台的车间完成精密模具测量。
基础版 S neox 虽定位经济型，但仍保持核心稳定性配置，适用于塑料、金属等常规材料的粗糙度检测，125×75mm 的 XY 行程能满足多数中小型样品需求。进阶版 S neox 5 升级高分辨率光学系统，搭配五轴旋转台，旋转轴定位重复性达 10 角秒，倾斜轴分辨率 0.5 角秒，适合半导体等精密检测场景。
定制版可根据需求拓展功能，如加装高温原位测量舱（最高 800℃），在追踪高温合金氧化层生长时仍保持数据稳定；或配置无菌操作舱，满足医疗植入体检测的洁净需求。S neox Grand Format 则针对大尺寸样品，600×600mm 的移动范围配合稳定的驱动系统，可完成半导体面板的高效检测。
操作中，电动倾斜台能在 3 秒内自动调平样品，减少人工操作带来的误差；电动鼻轮可自动切换物镜并校准焦平面，避免手动更换的偏差。SensoSCAN 软件的自动基准识别功能，通过图案匹配实现全自动化测量，无需人工干预，进一步保障结果一致性。
维护方面，设备支持远程故障诊断，通过 VPN 连接即可获得即时技术支持。厂家提供 3 年保修期与年度维护套餐，包含光源更换、软件升级与校准服务，确保设备长期保持稳定性能。每 200 小时一次的校准流程简单，使用标准校准片即可完成全系统校准。Sensofar共聚焦三维轮廓仪筑牢稳定测量根基
当前位置：
相关文章
上一个：
返回列表
服务热线：
公司地址：
公司邮箱：
产品简介
产品分类