
Sensofar S neox共聚焦白光干涉光学轮廓仪采用模块化设计,核心测量单元可与不同功能模块组合,适配多样场景。机身尺寸可根据需求调整,基础版的紧凑体积适合实验室桌面布局,定制版的大尺寸平台则能承载300×300mm的样品,最大高度可达350mm。光学系统支持共聚焦、白光干涉、多焦面叠加等多种技术切换,配合可更换的物镜组,能应对从纳米级微观结构到毫米级宏观形貌的测量需求。设备还可加装环形 LED 光源、高温舱、无菌舱等配件,进一步拓展应用边界。
在半导体领域,S neox 能满足晶圆、芯片等精密器件的检测需求。进阶版 S neox 5 搭载高分辨率光学系统,可测量薄膜厚度、刻蚀坑形貌与光刻对准误差,横向分辨率 0.10μm 的共聚焦模式能清晰呈现金线连接细节。
S neox Grand Format 型号专为半导体面板设计,600×600mm 的移动范围可覆盖大型面板的全表面检测,且符合 SEMI 标准,检测报告能直接用于行业质控。软件内置的半导体专用模板,可自动计算关键尺寸参数,配合自动化程序模块实现 24 小时连续检测。
医疗领域对检测的安全性与准确性要求较高,S neox 的非接触式测量能避免损伤敏感样品。在人工角膜检测中,它可在湿润状态下测量表面纹理,避免传统接触式测量导致的 0.5μm 形变误差。定制版的无菌操作舱能满足植入体检测的洁净需求,保障样品不受污染。
生物材料研究中,S neox 可测量 3D 打印钛合金支架的孔隙结构、组织工程支架的孔径分布。某企业曾用其发现孔径误差与成骨细胞黏附率的关联,据此优化产品参数,提升细胞增殖率 30%。软件的高分辨率成像与参数分析功能,为生物材料研发提供了有力支撑。
汽车行业的生产质检中,S neox 能评估发动机缸盖、气门座的表面质量,基础版即可完成 Ra=0.8μm 的精密模具测量,即便在车间振动环境下,实时环境补偿算法也能保证数据稳定。进阶版的五轴旋转台可实现汽车零部件的全方形貌检测,提升质检覆盖面。
航空领域中,定制版 S neox 可加装高温原位测量舱(最高 800℃),实时追踪发动机叶片氧化层的生长过程。其高斜率测量能力(可达 86°)能应对叶片复杂曲面的形貌分析,为材料性能研究提供数据支持。设备的耐用结构与长寿命设计,也适应航空领域的严苛使用需求。
光学元件生产中,S neox 可检测透镜表面粗糙度、镀膜均匀性与 AR 薄膜厚度,白光干涉模式的亚纳米级纵向分辨率能精准捕捉面型误差。电子器件领域,它能分析 MEMS 器件的微齿轮、悬臂梁三维形貌,确保其尺寸公差符合设计要求。
从研发阶段的材料特性分析,到生产环节的批量质检,再到售后的失效分析,S neox 共聚焦白光干涉光学轮廓仪凭借多场景适配能力,成为多行业的实用工具。Sensofar白光干涉轮廓仪多场景而生灵活架构