白光干涉仪S neox的5轴测量意义

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白光干涉仪S neox的5轴测量意义：Sensofar S neox的5轴测量系统通过倾斜与旋转样品台，使复杂表面的目标区域始终垂直对焦，实现对倾斜面、侧壁等特征的精确三维形貌测量。

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更新时间：2025-11-18

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白光干涉仪S neox的5轴测量意义

在三维表面测量中，一个常见的挑战是如何精确测量具有复杂几何形状的样品，例如倾斜的平面、柱状体的侧面或球面的特定区域。传统的三轴（X, Y, Z）测量系统在测量这些非水平表面时，可能因样品表面与物镜光轴不垂直而导致信号质量下降或无法测量。Sensofar S neox提供的5轴测量能力，为应对这一挑战提供了更多灵活性。

5轴系统通常指三个线性轴（X, Y, Z）和两个旋转轴（倾斜和旋转）。S neox的集成式5轴系统允许样品台不仅能在平面内移动和垂直扫描，还能进行精密的倾斜和旋转调整。

这种设计的直接好处是，用户可以通过调整样品的倾斜和旋转角度，使待测的复杂表面区域与物镜的光轴保持垂直。例如，在测量一个微切削工具的刃口时，可以通过倾斜样品台，将刃口的一个特定斜面调整到最佳测量位置。这对于获取陡峭侧壁的完整、准确形貌信息尤为重要，因为垂直入射的光线能获得的信号和最高的分辨率。

此外，5轴系统便于多视角测量。对于某些具有遮挡或深孔的结构，从一个角度可能无法观测到全部特征。通过旋转样品，可以从不同角度进行测量，然后利用软件将多个视角的数据融合，生成更完整的三维模型。

在自动化测量中，5轴联动也提升了效率。可以预先设定好程序，让仪器在测量不同特征时自动将样品调整到最佳角度，无需手动重新装夹，保证了测量位置的可重复性和数据的准确性。

因此，Sensofar S neox的5轴测量能力，扩展了白光干涉仪对复杂几何形状样品的测量适应性，使对倾斜面、侧壁等特征的精确、重复性测量变得更加可行。

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