白光干涉仪S neox的微流体芯片检测

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白光干涉仪S neox的微流体芯片检测:Sensofar S neox可对微流道进行非接触三维测量，精确量化通道尺寸、深度、粗糙度及层间对准，为芯片性能优化与工艺控制提供关键数据。

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更新时间：2025-11-18

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白光干涉仪S neox的微流体芯片检测

微流体芯片广泛应用于生物、化学、医学等领域，其内部微通道的尺寸、深度、表面粗糙度直接影响流体的流动特性和检测灵敏度。Sensofar S neox 3D光学轮廓仪提供了一种非接触的方法来表征微流体芯片的关键几何参数。

S neox可以对微流道进行三维扫描，精确测量通道的宽度、深度、截面形状（如是否为矩形、梯形或弧形）。这些几何尺寸的准确性对于控制流体的流速、扩散和混合效率至关重要。

通道表面的粗糙度会影响流体的流动阻力，在某些情况下也可能引起蛋白质或细胞的非特异性吸附。S neox可以量化通道底壁和侧壁的粗糙度。

对于多层结构的微流体芯片，需要测量层与层之间的对准精度。S neox可以通过测量对准标记的位置偏差来评估对准误差。

对于由透明聚合物制成的微流体芯片，S neox的共聚焦模式或经过透明材料校正的白光干涉模式可以用于测量。其5轴系统允许倾斜样品，以更好地测量通道的侧壁。

此外，S neox还可以用于检测微流体芯片在加工过程中可能产生的缺陷，如残留的聚合物、通道堵塞或裂纹等。

因此，Sensofar S neox为微流体芯片的研发和制造提供了一种重要的计量工具，帮助优化加工工艺，确保芯片质量的可靠性和一致性。

白光干涉仪S neox的微流体芯片检测

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