Sensofar 3D光学轮廓仪的超精密检测

产品简介

Sensofar 3D光学轮廓仪的超精密检测：Sensofar S neox凭借高分辨率与5轴测量能力，可对光学元件、精密模具及微结构进行超精密三维形貌分析，确保其尺寸、面形与粗糙度符合严苛的制造标准。

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更新时间：2025-11-27

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Sensofar 3D光学轮廓仪的超精密检测

Sensofar S neox 3D光学轮廓仪在超精密加工件的质量检测中发挥着重要作用。现代制造业对加工精度的要求不断提高，这使得高精度的检测手段显得尤为重要。该仪器凭借其高分辨率特性，为超精密加工领域提供了可靠的测量方案。

在光学元件加工领域，仪器的白光干涉模式可以精确测量复杂光学元件的面形误差。同时，它能够检测表面粗糙度，评估加工过程中可能引入的微观缺陷。对于红外光学元件，仪器可以测量衍射结构的几何参数，确保光学性能符合设计要求。

精密模具的型腔检测是另一个重要应用。仪器可以测量微细结构的尺寸精度和形状误差，其共聚焦模式能够获取较完整的侧壁形貌信息。5轴运动系统允许从不同角度测量复杂型面，获得全面的三维数据。这些测量结果对于提高模具加工质量具有指导意义。

该仪器在超精密车削、铣削表面评价中也表现出色。它可以量化分析加工纹理的特征，评估刀具磨损状态对表面质量的影响。通过三维形貌数据，可以计算表面的支承率曲线，预测零件的摩擦磨损性能。

在微机电系统制造中，仪器用于测量微结构的尺寸精度和形状公差。对于复杂微结构，它能提供全面的几何参数评价。此外，仪器还能监控刻蚀过程的均匀性，保证工艺稳定性。

值得一提的是，仪器的大面积拼接功能使其能够测量超出单视场的大型工件。通过自动拼接算法，可以获得完整工件的三维形貌数据，这对大型光学元件等工件的检测特别有用。

Sensofar 3D光学轮廓仪的超精密检测

上一个：Sensofar 3D光学轮廓仪的新能源应用

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