Sensofar 3D光学轮廓仪的光学薄膜检测
Sensofar S neox 3D光学轮廓仪在光学薄膜检测中具有重要应用。光学薄膜是现代光学系统的关键组成部分,其表面质量直接影响光学性能。该仪器为光学薄膜的检测提供了有效的技术手段。
在薄膜厚度测量方面,仪器可以测量薄膜表面的台阶高度,从而得到膜厚信息。对于多层膜结构,可以通过选择性刻蚀制备台阶,测量各层厚度。仪器的垂直分辨率可以达到亚纳米级,满足光学薄膜的测量要求,确保薄膜厚度的精确控制。表面缺陷检测是另一个重要应用。仪器可以检测薄膜表面的点缺陷、划痕等瑕疵,统计缺陷的密度和分布。对于激光损伤阈值要求高的薄膜,表面微缺陷的检测尤为重要。它的大面积扫描功能可以实现全场缺陷检测,提高检测效率。薄膜应力分析也可以通过表面形貌测量间接实现。仪器可以测量薄膜沉积前后的基片形貌变化,通过翘曲度计算薄膜应力。这种方法为优化沉积工艺提供了重要反馈。对于大面积薄膜,可以测量应力的分布情况,确保薄膜均匀性。在光学性能预测方面,表面粗糙度与散射损耗直接相关。仪器可以精确测量薄膜表面的微观起伏,评估表面质量对光学性能的影响。对于高反射膜、增透膜等光学薄膜,表面粗糙度控制是保证光学性能的关键因素。值得一提的是,该仪器可以测量薄膜断面的形貌,分析薄膜的截面结构。结合倾斜测量功能,可以获得更完整的薄膜三维信息。这些数据对理解薄膜生长机理、优化制备工艺具有指导意义,有助于提高光学薄膜的性能和质量。
Sensofar 3D光学轮廓仪的光学薄膜检测