Sensofar 3D光学轮廓测量中的应用

产品简介

Sensofar 3D光学轮廓测量中的应用：白光干涉共聚焦显微镜是一种非接触式3D光学轮廓仪，它融合白光干涉与共聚焦技术，可对微纳米尺度表面进行高分辨率三维形貌测量，广泛应用于半导体、精密加工及材料研发等领域。

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更新时间：2026-01-23

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Sensofar 3D光学轮廓测量中的应用

在现代工业检测与材料分析领域，表面三维形貌的测量需求日益增长。白光干涉共聚焦显微镜作为一种光学测量设备，结合了白光干涉术与共聚焦显微技术的原理，为获取样品表面的三维形貌数据提供了一种方法。它常被归类为3D光学轮廓仪的一种，在微纳米尺度的表面测量中发挥作用。

这种设备的工作原理基于光学干涉现象。当宽光谱白光通过分光镜分成两束，一束照射样品表面，另一束作为参考光，两束光反射后重新汇合产生干涉。干涉条纹的对比度与光程差相关，通过垂直扫描并分析干涉信号的变化，可以逐点计算出样品表面的高度信息。同时，其共聚焦光路通过设置探测针孔，有效抑制了焦平面以外的杂散光，提升了轴向分辨率和图像信噪比。这使得它对光滑、粗糙、甚至具有一定透明度的表面都能进行测量。

作为实现3D光学轮廓测量的工具之一，它在多个行业场景中可见。在半导体制造与封装环节，可用于测量晶圆表面的薄膜厚度、图形台阶高度以及微结构的侧壁角度，为工艺控制提供形貌数据。在精密光学元件加工中，用于检测透镜、反射镜等元件表面的面形与粗糙度，评估其加工质量。在功能性涂层与材料研发领域，科研人员借助它分析涂层表面的均匀性、纹理结构或磨损情况，辅助材料性能研究。

与一些接触式轮廓仪相比，这种光学方法属于非接触测量，避免了测针可能对柔软或脆弱样品表面造成的划伤或变形。其测量过程相对较快，能够获取较大视野范围内的三维点云数据，并通过配套软件重建出直观的三维形貌图、二维轮廓线，并计算出如粗糙度（Sa, Sq）、台阶高、体积等一系列参数。因此，它在实验室的研发分析、生产线的在线或离线抽检中都有应用实例。

设备的性能表现与光源特性、物镜数值孔径、扫描机构的稳定性以及信号处理算法等因素有关。用户在选择时，需要结合自身待测样品的材质特性（如反射率、透明度）、表面坡度、待测特征的尺寸范围以及所需的测量速度、重复性等实际要求进行综合考量。例如，对于高反射或多层透明薄膜样品，可能需要调整测量模式或使用特定算法来获得可用的数据。

展望未来，随着制造工艺向更精微方向发展，对表面质量与功能性的关注不断提升，基于白光干涉共聚焦原理的3D光学轮廓测量技术，其应用场景有望进一步拓展。通过与其他显微技术结合或优化算法，它在测量效率、适应性及数据解析深度方面可能继续演进，为质量控制、失效分析和基础科学研究提供一种有用的观测手段。

Sensofar 3D光学轮廓测量中的应用

上一个：Sensofar 3D白光干涉共聚焦显微镜的应用