共聚焦白光干涉轮廓仪S lynx2 维护与保养

1. 环境要求：设备应放置在稳固、防振的工作台上，避免阳光直射和空调出风口直吹。保持环境清洁，控制温湿度在设备允许的范围内（通常温度在20±2°C，湿度<60%为宜），以减少热漂移和光学部件结露的风险。

   
   

2. 开机与关机：按照操作手册规定的顺序开机（通常先开硬件，后开软件）和关机。关机前，建议先将光源亮度调低，并正常退出测量软件。

   
   

3. 样品安全：始终确保样品清洁、干燥、无腐蚀性。取放样品时动作轻柔，避免碰撞物镜或载物台表面。对于过大、过重或不稳定的样品，需妥善固定，防止掉落损坏设备。

   
   

4. 光学部件清洁（至关重要）：

   
   

• 物镜：物镜前透镜是极易污染的部分。清洁时，首先使用干净柔和的吹气球吹去浮尘。如有必要，使用专用的显微镜镜头纸或棉签，蘸取极少量高纯度乙醇或丙酮（或专用镜头清洁剂），从中心向外以螺旋方式轻轻擦拭。切勿用力按压或使用普通纸巾、衣物擦拭。

  
  

• 样品台玻璃/参考镜（如果暴露）：保持清洁，清洁方法同物镜。参考镜在白光干涉模式中非常关键，其洁净度直接影响干涉图质量。

  
  

• 其他光学窗口：设备上的其他光学窗口也应保持清洁。

  
  

5. 机械部件维护：保持载物台X、Y、Z导轨的清洁，可用干净软布轻轻擦拭，防止灰尘和样品碎屑积聚影响移动精度。避免在导轨上涂抹润滑油，除非手册特别说明。

   
   

1. 性能验证：定期（如每季度或每半年）使用经过认证的标准样板进行性能验证。常见的标准样板包括：

   
   

• 台阶高度标准片：用于验证Z轴测量的准确性和重复性。

  
  

• 横向尺度标准片（光栅）：用于验证XY方向的尺度精度和分辨率。

  
  

• 粗糙度标准片：用于验证粗糙度测量的可重复性。

  
  

2. 光路检查：如果发现图像整体模糊、亮度不均匀或测量数据异常，可能需要检查光路是否准直。光路校准通常需要由经过培训的专业人员使用专用工具进行。

   
   

3. 光源检查：注意白光LED光源的使用寿命，其亮度和光谱会随时间衰减。如果发现光源明显变暗或颜色异常，可能需要联系服务人员检查或更换。

   
   

4. 软件备份：定期备份软件的系统设置、校准数据、用户自定义的测量模板和方法文件。

   
   

对于设备内部的光学系统清洁、精密机械调整、电路检查、激光器（若配备）校准或更换等深度维护，强烈建议联系Sensofar的shou 权服务工程师或专业维护团队。他们可以提供定期的预防性维护（PM）服务，检查设备状态，更换耗材，进行专业校准，以预防故障并确保设备始终处于较好的工作状态。

通过遵循上述维护和保养实践，用户可以有效地延长共聚焦白光干涉轮廓仪S lynx2的使用寿命，保持其测量精度和可靠性，确保它持续为表面计量工作提供支持。

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