共聚焦白光干涉轮廓仪S lynx2 测量准备

• 稳定性：设备应放置在稳固、抗震的工作台上。避免将其安置在靠近门、走廊、大型设备或明显振源（如离心机、冲压机）的地方。即使微小的振动也可能干扰干涉测量模式的稳定性，或导致图像模糊。

  
  

• 清洁度：保持设备周围环境清洁，减少空气中的灰尘。灰尘落入光学元件或附着在样品上，都会影响测量结果。建议在无尘或低尘的环境中使用。

  
  

• 温湿度：维持实验室或测量室相对恒定的温度与湿度。剧烈的温度变化会导致设备部件发生热胀冷缩，可能引起测量漂移，影响Z轴测量的稳定性。一般建议在设备规定的操作温度范围内工作，并避免阳光直射设备。

  
  

• 清洁样品：这是最关键的一步。使用适当的清洁方法去除样品表面的灰尘、指纹、油污、水渍或其他污染物。常用方法包括：

  
  

• 用洁净的压缩空气或吹气球吹去浮尘。

  
  

• 使用无尘布或棉签蘸取高纯度溶剂（如异丙醇、丙酮，需确认对样品无腐蚀）轻轻擦拭。

  
  

• 对于难以清洁的微小颗粒，可使用超声波清洗（需确认样品是否适用）。

  
  

• 样品固定：确保样品在测量过程中稳固不动。对于小样品，可以使用橡皮泥、蜂蜡或专用样品夹具将其固定在载物片或样品台上。固定时需注意样品表面应尽可能水平，避免过度倾斜，以减少后续数据处理中倾斜校正的幅度。同时，固定材料不应污染或损坏样品表面。

  
  

• 样品特性考量：

  
  

• 反射率：S lynx2需要样品表面反射足够的光信号。对于透光材料（如玻璃）或强吸光材料（如黑色橡胶），可能在背面涂覆反射层（如薄层金或铝）来增强表面反射信号，但这属于破坏性处理，需谨慎。

  
  

• 表面斜率：对于侧壁非常陡峭（接近或超过物镜数值孔径决定的接受角）的特征，可能出现信号丢失，导致该区域测量数据缺失。这需要选择合适的物镜和测量模式来优化。

  
  

• 透明薄膜/多层结构：测量透明薄膜上表面形貌通常没问题，但要测量薄膜厚度（需上下表面都反射）或下层结构，需要选择合适的干涉模式和分析方法。

  
  

• 开机预热：设备开机后，建议等待一段时间（如15-30分钟），让光源和电子元件达到热稳定状态，再进行高精度测量。

  
  

• 光学部件检查：目视检查物镜前透镜、样品台、参考镜（如果可见）等光学部件表面是否清洁。如有明显污渍，应按规程小心清洁。

  
  

• 标准片验证：在开始重要测量前或定期，使用台阶高度标准片等工具快速进行一次测量，验证设备的Z轴测量准确性是否在预期范围内。这有助于建立信心并及早发现问题。

  
  

• 选择测量区域：明确需要测量的具体特征是什么，是整体粗糙度，还是特定划痕、凹坑、凸起的尺寸？

  
  

• 选择物镜：根据特征尺寸选择。低倍物镜（如2.5X, 5X）视场大，适合定位和观察大范围形貌；高倍物镜（如50X, 100X）分辨率高，适合观察微小细节。可先用低倍镜定位，再切至高倍镜测量。

  
  

• 预估扫描范围：通过预览图像的聚焦情况，大致判断样品表面的高低落差，从而设置合理的Z轴扫描起点和终点，避免扫描范围不足或过长浪费时间。

  
  

共聚焦白光干涉轮廓仪S lynx2 测量准备