共聚焦白光干涉轮廓仪S lynx2 扩展功能
基础的S lynx2系统已经提供了共聚焦和白光干涉两种核心测量模式。为了应对更广泛或更特殊的测量需求，该平台通常支持一些扩展功能和配件，以增强其应用能力。
1. 大范围扫描与图像拼接：
标准物镜的单次扫描视场是有限的。对于需要测量超出单视场范围的大面积样品（如大尺寸光学元件、平板显示器局部、机械密封面等），可以使用软件的大范围扫描和图像拼接功能。
2. 高速扫描模式：
对于需要快速进行大量样品检测或在线监控的应用，某些配置或模式可能提供更高的扫描速度。
3. 高动态范围（HDR）干涉测量：
当样品表面同时存在高反射率区域（如金属）和低反射率区域（如深色材料）时，标准白光干涉模式可能难以同时获得良好的信号。高动态范围技术通过组合不同曝光时间下采集的多幅干涉图，扩展探测器的有效动态范围。
4. 膜厚测量模式：
对于透明或半透明薄膜（如氧化物薄膜、光刻胶、涂层），标准的形貌测量通常只能得到上表面形貌。专用的薄膜厚度测量模式，利用白光干涉的垂直扫描干涉原理，分析从薄膜上表面和下表面反射光产生的干涉信号，可以非接触地测量薄膜厚度。
5. 电动倾斜台：
标准测量要求样品表面大致垂直于光轴。对于具有固定倾角或需要测量特定倾斜面的样品，可以配备电动倾斜样品台。该样品台可以精确地倾斜和旋转样品，将待测面调整到适合测量的方向。
6. 环境隔离与特殊样品台：
隔振台或主动隔振系统：对于环境振动敏感的高精度测量，可以提供更好的稳定性。
温控样品台：用于研究温度变化对样品表面形貌的影响，或在恒温条件下进行测量。
真空或气氛控制样品室：用于测量在空气中易氧化、潮解或需要特殊气氛保护的样品。
7. 专用分析软件模块：
除了标准分析包，可能还提供针对特定行业或应用的高级分析模块，例如：
这些扩展功能并非标准配置，用户在选型或后续升级时，可以根据自身的具体测量需求（如样品尺寸、测量速度、特殊样品特性、环境要求等）向供应商咨询，选择适合的配件和软件模块，从而将共聚焦白光干涉轮廓仪S lynx2的应用潜力进一步拓展到更专业的领域。
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