共聚焦白光干涉轮廓仪S lynx2 使用案例

共聚焦白光干涉轮廓仪S lynx2 使用案例

• 场景：一家生产液压阀芯的精密加工企业，需要确保阀芯圆柱工作面的表面粗糙度达到图纸要求的Ra ≤ 0.1 μm，以保障密封性能。

  
  

• 应用：质检员定期从生产线上抽取阀芯样品。将阀芯固定在S lynx2的样品台上，选择合适的物镜（如20X）将激光焦点对准圆柱母线方向的一个区域。由于金属阀芯表面通常经过精磨，较为光滑，选择白光干涉测量模式。设置合适的扫描范围后启动测量。数秒内即可获得该区域的三维形貌图。

  
  

• 分析与结果：在软件中，选取符合标准的评估区域，使用面粗糙度分析功能，计算Sa（三维算术平均高度）或对应的二维轮廓参数Ra。软件可自动生成报告，显示测量值、是否在规格限内，并可记录历史数据用于统计过程控制（SPC）。如果发现粗糙度超标，可以及时反馈调整磨削工艺参数。

  
  

• 场景：在半导体制造中，一片晶圆上沉积的二氧化硅薄膜厚度需要控制在100nm ± 5nm，且要求整片均匀性良好。

  
  

• 应用：工艺工程师在沉积后，选取测试晶圆（或产品晶圆上的测试图形区域）。在薄膜边缘或特定测试结构上，存在一个清晰的台阶，裸露了下层硅衬底。使用S lynx2，选择干涉模式和高倍物镜（如50X），精确扫描这个台阶区域。

  
  

• 分析与结果：软件自动识别台阶的上下表面，并计算出精确的台阶高度，即薄膜厚度。通过在晶圆上选择多个点位（如中心、左、右、上、下）进行测量，可以快速评估薄膜厚度的平均值和均匀性（厚度变化范围）。这些数据用于监控沉积设备的稳定性。

  
  

• 场景：研发人员开发一种新的耐磨涂层，希望研究不同喷涂工艺参数（如喷涂压力、距离）对涂层表面形貌和耐磨性的影响。

  
  

• 应用：制备多组不同工艺参数下的涂层样品。使用S lynx2的共聚焦模式（因为涂层表面通常为漫反射）测量各组样品的表面三维形貌。然后，对所有样品进行标准化的摩擦磨损试验。

  
  

• 分析与结果：对磨损前后的表面分别进行测量。通过软件计算磨损区域的体积损失，量化耐磨性。同时，分析磨损前原始表面的三维粗糙度参数（如Sa, Sz）和功能参数（如表面支承面积比曲线）。将表面形貌参数与磨损体积数据进行关联分析，可以发现例如“适中的Sa值和较高的核心材料比可能对应更好的耐磨性"等规律，从而指导优化喷涂工艺参数。

  
  

• 场景：触摸屏面板制造商需要检测ITO（氧化铟锡）导电线路上的缺陷，如划痕、凹坑或异物。

  
  

• 应用：将面板样品置于S lynx2下，用低倍物镜（如5X）快速扫描定位可疑区域，再切至高倍物镜（如20X或50X）进行精细测量。对于光滑的ITO表面，可采用白光干涉模式。

  
  

• 分析与结果：获得缺陷区域清晰的三维形貌。可以精确测量划痕的深度和宽度、凹坑的深度和直径、异物的高度和尺寸。根据这些量化数据，可以对缺陷进行自动或手动的分类（如轻微划痕、严重凹坑等），判断是否超出接受标准，并追溯缺陷产生的可能工序。

  
  

• 场景：生产微透镜阵列用于光束匀化，每个微透镜的曲率半径和高度一致性对光学性能至关重要。

  
  

• 应用：使用S lynx2的高倍物镜（如50X）测量单个微透镜，或使用大范围拼接功能测量整个阵列。选择适合透明聚合物或玻璃材料的测量模式（可能需要调整光源和参数）。

  
  

• 分析与结果：三维形貌图清晰显示每个微透镜的球冠形状。利用软件中的“球面拟合"或“曲面拟合"工具，可以自动计算每个透镜的曲率半径和矢高（高度）。软件可对阵列中多个透镜的测量结果进行统计分析，计算平均值、标准差、极差，验证加工的一致性和是否符合设计公差。

  
  

这些案例展示了S lynx2如何将表面的微观形貌转化为具体的、可量化的数据，服务于质量控制、工艺监控、研发优化和失效分析等多个具体场景，帮助用户做出基于数据的判断和决策。

共聚焦白光干涉轮廓仪S lynx2 使用案例