布鲁克ContourX-200使用与维护指南
布鲁克三维光学轮廓仪ContourX-200的正确使用和维护对保持设备性能至关重要。以下提供操作与维护的基本指导。
日常操作从开机预热开始。按顺序打开主机、控制器和计算机电源,启动测量软件。系统预热约30分钟使温度稳定。样品准备需清洁表面,用适当夹具固定,确保测量时无移动。样品尺寸和重量应在载物台允许范围内。
软件操作界面包含多个功能区。预览窗口显示实时图像,用于样品定位和对焦。测量参数设置区包括扫描范围、步长、测量模式等选项。数据分析区提供处理工具和结果显示。新用户应从基本测量开始,熟悉各功能模块作用。
测量模式选择依赖样品特性。光滑表面适合相移干涉模式,可获得更高垂直分辨率;粗糙表面或有大台阶的表面适合垂直扫描模式,测量范围更大。不确定时可先用垂直扫描模式试测,根据结果调整。
参数设置影响测量质量。扫描范围应覆盖表面最高和最di 点,可通过快速预扫描确定。扫描步长决定垂直分辨率,步长越小分辨率越高但测量时间越长。需要根据表面粗糙度和精度要求平衡选择。光源强度和相机曝光需调整至干涉条纹清晰可见。
对焦和找条纹是关键步骤。先在预览模式下调焦使表面清晰,然后微调Z轴直到出现干涉条纹。条纹数量适中、对比度好表示状态合适。对于低反射表面,可能需要增加光源强度;高反射表面则需减弱光源避免饱和。
测量过程应避免振动干扰。开始扫描后不要触碰设备或工作台。扫描时间从几秒到几分钟不等,取决于设置参数和区域大小。测量完成后软件自动处理数据,生成三维形貌图。
数据分析包括基本处理和特征提取。先使用调平工具去除样品倾斜,必要时进行滤波去噪。然后选择感兴趣区域进行参数计算。粗糙度分析按ISO标准选择滤波器和参数,几何测量使用相应工具获取尺寸数据。
维护保养分日常和定期两部分。每日使用后清洁样品台和载物片,用吹气球清除物镜表面灰尘。每周检查系统气路(如配备气浮隔振),清洁设备外壳。每月清洁光学窗口,按照规程小心擦拭。
定期校准确保测量准确。建议每季度使用台阶高度标准片校验垂直尺度,用光栅标准片校验横向尺度。校准数据记录在案,发现偏差及时调整。每年由专业人员进行全面检查和维护,包括光学系统清洁、机械部件检查、软件升级等。
故障处理需按步骤进行。测量结果异常时,首先检查样品清洁和固定情况,然后确认环境振动和温度条件。检查光学部件是否污染,必要时清洁。软件问题可尝试重启或恢复默认设置。无法解决的故障联系技术支持。
数据管理也很重要。定期备份测量数据和系统设置,建立样品测量档案。重要数据可导出通用格式长期保存。软件提供数据管理工具,帮助整理和查找历史数据。
操作人员应接受系统培训,了解基本原理和操作规程。新用户先从简单样品开始练习,逐步掌握参数设置和数据分析技巧。复杂测量任务可参考应用笔记或咨询应用工程师。
通过规范操作和定期维护,布鲁克ContourX-200轮廓仪能够保持稳定性能,为用户提供可靠的测量数据。建立完善的使用和维护制度,有助于延长设备使用寿命,保证测量结果的一致性。
布鲁克ContourX-200使用与维护指南