ZYGOZeGage Pro 维护延长设备使用寿命方法 ZeGage Pro 的日常维护操作简单，通过规范的维护流程，可有效延长设备使用寿命，保证测量精度长期稳定。

ZYGO ZeGage Pro 应用：覆盖多行业测量场景 ZeGage Pro 凭借灵活的测量能力，广泛应用于半导体、光学制造、汽车、生物医学等多个行业，为不同领域的检测需求提供支持。

ZYGOZeGage Pro 适配：应对多样检测需求 ZeGage Pro 通过丰富的辅助配件与软件功能，适配不同样品类型与检测场景，满足多样化测量需求。

ZYGOZeGage Pro 结构与参数：可靠测量保障 ZeGage Pro 采用紧凑型台式设计，机身尺寸约 550mm×480mm×700mm，重量约 65kg，无需专用安装空间，普通实验室操作台即可放置，节省场地资源。机身外壳选用高强度冷轧钢板，表面经过静电喷塑处理，具有良好的抗腐蚀、抗划伤性能，长期使用仍能保持外观整洁，同时有效隔绝外部环境对内部光学系统的干扰。

ZYGO ZeGage Pro 技术：多原理支撑测量方案 ZeGage Pro 依托多种成熟光学测量技术，实现对不同表面特性样品的精准检测。其核心技术包括相移干涉（PSI）与动态干涉（DI），相移干涉技术通过控制参考镜的微小位移，采集多幅具有不同相位差的干涉图像，再通过算法提取样品表面高度信息，适用于超光滑表面测量，纵向分辨率可达到 0.1nm

ZYGO ZeGage Pro 操作：新手也能上手测量仪 ZYGO 3D 光学轮廓仪 ZeGage Pro 在操作设计上，充分考虑不同使用人群的需求，让新手也能快速掌握测量流程。其核心操作软件采用清晰的模块化布局，主界面左侧划分出 “样品设置”“测量模式选择”“数据导出” 等功能区，每个功能区都配有简洁图标与文字说明，点击图标即可查看操作提示，降低理解难度