ZYGO 的校准与验证 任何测量设备的长期可靠使用都依赖于定期的校准和验证。对于ZYGO Nexview NX2这样的高精度光学测量系统，建立完善的校准程序和验证方法，是保证测量数据准确性、一致性和可比性的基础。

ZYGO 在MEMS器件测量中的应用 微机电系统（MEMS）器件具有复杂的微小三维结构，其几何尺寸和形貌特征直接影响器件性能。对MEMS结构进行精确的三维形貌测量，是器件设计验证、工艺优化和性能评估的重要环节。

ZYGO 数据处理方法 测量数据的处理是从原始干涉信号中提取有效表面信息的关键步骤。ZYGO Nexview NX2 白光干涉仪采集的原始数据经过一系列处理算法转化为可用于分析的三维形貌数据。

ZYGO 样品准备与放置 在光学测量中，样品的准备与放置质量直接影响测量结果的准确性和可靠性。对于ZYGO Nexview NX2这样的高精度白光干涉仪，正确的样品处理方法更是获得有效数据的关键前提。合理的样品准备和精确的样品放置不仅能够提高测量效率，还能减少测量误差，确保数据的可重复性和可比性。

ZYGO 测量模式解析 ZYGO Nexview NX2 白光干涉仪集成了多种测量模式，以适应不同表面特性的测量需求。了解这些测量模式的工作原理、适用场景及其特点，有助于用户根据具体样品和测量目标选择最合适的测量方式，从而获得可靠的测量结果。

ZYGO 在晶圆制程中的应用 晶圆作为半导体制造的基础材料，其表面质量对整个制程有着直接影响。