SEM冷冻真空传输系统

SEM冷冻真空传输系统示意图

SEM冷冻真空传输系统参数

•独立控制系统

•独立真空系统

•高匹配360°(无限)旋转冷台

•冷台倾转角度>55°

•冷台温度≤180℃

•冷台降低温时间:≤30min

•冷阱温度≤l90℃

•冷阱降低温时间:≤l5min

•冷台、冷阱设计烘烤功能

•烘烤温度:80℃

•提供定制化样品梭服务

360°旋转冷台

功能：用于装载样品梭及提供低温保护

参数

•旋转角度：0-360°

•控温范围：-180℃~80℃

•控温精度：≤土0.1℃

•降温速度：≤30min

冷阱

功能：低温保护、吸附污染物

参数

•控温范围：≤-190℃

•控温精度：≤士0.5℃

•降温速度:≤15min

真空转移腔

功能：用于样品的真空转移

参数

•可实现手套箱-FIB真空相互转移

•可实现液氮内样品-FIB冷冻制样真空转移

真空过度仓

功能：实现样品到电镜的真空过度转移

参数

•操作快速

•便捷独立真空系统

•匹配电镜真空

低温系统

功能：用于为冷台、冷阱提供冷源

参数

•液氮容积35L

•持续工作时间>8h

•设计不停机添加液氮端囗

控制系统

功能：用于系统的控制、集成和交互

参数

•温度显示及控制

•真空系统集成与控制

•选配液氮工作站，可满足样品的冷进冷出需求