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PicoFemto扫描电镜SEM纳米力测量系统可以实现包括原位力/热耦合、力/光耦合、力/电耦合、力/热/晶体取向耦合等多场耦合研究。
PicoFemto扫描电镜原位光电力一体化系统,集成了扫描探针控制单元,可在三维空间内对电学探针与光纤探针进行亚纳米级别精度的操纵与定位。