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PRODUCTS CNTER当前位置:首页产品中心台式电镜&台阶仪&原位分析泽攸台阶仪全自动台阶仪 JS2000B
国产全全自动台阶仪 JS2000B,拥有高精度、高分解能力,搭配一体花岗岩结构,提供稳定可靠的重复性测量。JS2000B提供两个彩色摄像头对样品和针尖同时成像,可无畸变的观察样品区,方便定位特征区域,同时探针扫描时可实时观察扫描区域。
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应用范围
▲ 刻蚀、沉积和薄膜等厚度测量
▲ 薄膜多晶硅等粗糙度、翘曲度等材料表面参数测量
▲ 各式薄膜等应力测量
▲ 3D扫描成像
▲ 计划任务和多点扫描
▲ 批量测试晶圆,批量处理数据等、
▲ EFEM(SMIF+ROBOT+ALINGER)
▲ JS200B
▲ 高度校准标样
▲ FFU模块
▲ 静电消除模块
▲ E84接口
软件界面
扫描图
18nm样品
68um样品
技术参数