PicoFemto透射电镜原位高温力学测量系统

泽攸透射电镜原位高温力学测量系统，同时集成了力学测量模块及MEMS芯片模块，可以在对样品1000 ℃加热的同时进行定量的力学测量。MEMS芯片模块上可以选择加热芯片，也可以选择电学测量芯片。力学测量模块可以选择不同载荷的传感器，满足不同实验需求。

该产品实现了透射电镜中的高分辨定量原位高温力学研究。

泽攸透射电镜原位高温力学测量系统

性能指标

透射电镜指标：

● 兼容指*电镜型号及极靴；

● 部分型号电镜可选双倾版本，双倾电学测量样品杆Y轴倾角±25°;（同时受限于极靴间距）；

力学传感器指标：

● 最大载荷100 mN（可选0.1 mN、1 mN、10 mN、100 mN）；

● 力测量实测噪声优于5nN（0.1 mN最大载荷时）；

● 力测量实测分辨率优于5 nN（0.1 mN最大载荷时）；

● 自动测量力-距离曲线，自动保存。

加热指标：

● 温度控制范围：室温至1000 ℃；

● 温度准确度：优于5%；

● 温度稳定性：优于±0.1 ℃。

扫描探针操纵指标：
● 粗调范围：X方向 1.5 mm，YZ 方向2 mm；
● 细调范围：XY 方向20 um，Z 方向 10 um；
● 细调分辨率：XY 方向 0.4 nm，Z 方向 0.2 nm。

产品特色

（1）很大力学测量及温度控制范围；

（2）多场下的力学研究；

（3）稳定性高：轻松获得大幅度运动中的高分辨像，适用于更广泛的应用场景和样品体系；

（4）很长的寿命