西班牙Sensofar 3D表面光学轮廓仪 S lynx 2：高精度表面测量的利器

Sensofar 3D 表面光学轮廓仪 S lynx 2 是西班牙 Sensofar 公司推出的一款高性能仪器，主要用于粗糙度、体积和临界尺寸测量，为材料用户提供准确、可靠、全面的毫米级到纳米级样品制备及微观形貌分析解决方案。三合一测量技术

S lynx 2 配备了干涉测量、共聚焦和 AI 多焦面叠加三种强大的测量技术。干涉测量中的白光垂直扫描干涉（VSI）技术，适用于测量从光滑到适度粗糙的表面，无论物镜的数值孔径（NA）或放大倍数如何变化，均可提供纳米级的垂直分辨率。共聚焦技术则具有更高的横向分辨率，可达 0.10μm，能实现临界尺寸测量，利用 150 倍、0.95 数值孔径的镜头时，在光滑表面测量斜率达 70°，粗糙表面达 86°。AI 多焦面叠加技术专为测量非常粗糙的表面形貌设计，具有快速（mm/s 级别）、扫描范围大且支持大斜率（最大 86°）测量的特点，对工件和模具测量特别有用。

高精度数据采集与处理

该轮廓仪采用*的光学测量解决方案，可针对各种材料的不同表面，自动选择优良技术进行数据采集，确保测量精度。采集计算在传感器头内执行，能充分利用 PC 功率进行数据分析，提高了数据处理效率。其系统噪声低，配合*的算法，测量精度可达亚纳米级别，可满足各类高精度测量需求。

大范围扩展测量能力

S lynx 2 具备*的拼接功能，创新算法覆盖整个电动平台范围，虽系统体积小巧，但能实现 125 x 75 毫米的测量范围，可在更大范围内采集高分辨率数据，满足大尺寸样品或需要大面积测量的场景需求。

便捷的操作与丰富的软件功能

S lynx 2 搭配 SensoSCAN 软件系统，该软件遵从 ISO:25178 标准，界面直观，操作便捷。用户只需找到测量位置，点击 3D 测量按钮，软件即可自动调整照明亮度、自动对焦，并执行优良测量模式，快速呈现精准测量结果。软件提供实时图像，且有多种实时图像模式可选，共聚焦照明模式下图像帧率可达 9 帧 / 秒，明场照明模式下高达 30 帧 / 秒。此外，软件还支持丰富的参数设定，优化后的参数可存储为单点或多点程序测量，方便重复测量。同时，交互式的 3D 和 2D 视图提供了多样的分析、演示和渲染选项，还具备数据补偿、形状去除、滤波分析等进阶分析功能，可满足不同用户的多样化需求。

紧凑设计与广泛适用性

S lynx 2 结构紧凑，设计简洁，可放置在生产车间或实验室的任何地方，不占用过多空间。其多功能性使其适用于多种表面测量应用，涵盖汽车、消费电子、能源、LCD、材料科学、微电子、微制造、半导体、模具和手表制造等多个领域。无论是光滑的半导体晶圆，还是粗糙的模具表面，亦或是具有复杂结构的微机电系统部件，S lynx 2 都能凭借其多种测量技术，提供准确的表面形貌测量结果。

总之，西班牙 Sensofar 3D 表面光学轮廓仪 S lynx 2 以其技术优势、便捷的操作和广泛的适用性，成为 3D 光学轮廓测量领域的优秀设备，为科研和工业生产中的表面测量提供了可靠的解决方案，有助于推动各相关领域的高精度检测与质量控制水平提升。

西班牙Sensofar 3D表面光学轮廓仪 S lynx 2：高精度表面测量的利器