服务热线
17701039158
产品中心
PRODUCTS CNTER西班牙Sensofar 3D表面光学轮廓仪 S lynx 2Sensofar 的四合一测量技术堪称 S neox 的一大核心亮点。在其传感器头中,巧妙集成了干涉、共聚焦、Ai 多焦面叠加和膜厚测量等多种*测量技术。只需轻松点击一次,系统便能依据当前测量任务的具体需求,自动智能地切换到最为适配的优良技术。
产品分类
Sensofar 3D 表面光学轮廓仪 S lynx 2 是西班牙 Sensofar 公司推出的一款高性能仪器,主要用于粗糙度、体积和临界尺寸测量,为材料用户提供准确、可靠、全面的毫米级到纳米级样品制备及微观形貌分析解决方案。三合一测量技术
S lynx 2 配备了干涉测量、共聚焦和 AI 多焦面叠加三种强大的测量技术。干涉测量中的白光垂直扫描干涉(VSI)技术,适用于测量从光滑到适度粗糙的表面,无论物镜的数值孔径(NA)或放大倍数如何变化,均可提供纳米级的垂直分辨率。共聚焦技术则具有更高的横向分辨率,可达 0.10μm,能实现临界尺寸测量,利用 150 倍、0.95 数值孔径的镜头时,在光滑表面测量斜率达 70°,粗糙表面达 86°。AI 多焦面叠加技术专为测量非常粗糙的表面形貌设计,具有快速(mm/s 级别)、扫描范围大且支持大斜率(最大 86°)测量的特点,对工件和模具测量特别有用。
高精度数据采集与处理
该轮廓仪采用*的光学测量解决方案,可针对各种材料的不同表面,自动选择优良技术进行数据采集,确保测量精度。采集计算在传感器头内执行,能充分利用 PC 功率进行数据分析,提高了数据处理效率。其系统噪声低,配合*的算法,测量精度可达亚纳米级别,可满足各类高精度测量需求。
大范围扩展测量能力
S lynx 2 具备*的拼接功能,创新算法覆盖整个电动平台范围,虽系统体积小巧,但能实现 125 x 75 毫米的测量范围,可在更大范围内采集高分辨率数据,满足大尺寸样品或需要大面积测量的场景需求。
便捷的操作与丰富的软件功能
S lynx 2 搭配 SensoSCAN 软件系统,该软件遵从 ISO:25178 标准,界面直观,操作便捷。用户只需找到测量位置,点击 3D 测量按钮,软件即可自动调整照明亮度、自动对焦,并执行优良测量模式,快速呈现精准测量结果。软件提供实时图像,且有多种实时图像模式可选,共聚焦照明模式下图像帧率可达 9 帧 / 秒,明场照明模式下高达 30 帧 / 秒。此外,软件还支持丰富的参数设定,优化后的参数可存储为单点或多点程序测量,方便重复测量。同时,交互式的 3D 和 2D 视图提供了多样的分析、演示和渲染选项,还具备数据补偿、形状去除、滤波分析等进阶分析功能,可满足不同用户的多样化需求。
紧凑设计与广泛适用性
S lynx 2 结构紧凑,设计简洁,可放置在生产车间或实验室的任何地方,不占用过多空间。其多功能性使其适用于多种表面测量应用,涵盖汽车、消费电子、能源、LCD、材料科学、微电子、微制造、半导体、模具和手表制造等多个领域。无论是光滑的半导体晶圆,还是粗糙的模具表面,亦或是具有复杂结构的微机电系统部件,S lynx 2 都能凭借其多种测量技术,提供准确的表面形貌测量结果。
总之,西班牙 Sensofar 3D 表面光学轮廓仪 S lynx 2 以其技术优势、便捷的操作和广泛的适用性,成为 3D 光学轮廓测量领域的优秀设备,为科研和工业生产中的表面测量提供了可靠的解决方案,有助于推动各相关领域的高精度检测与质量控制水平提升。