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随着半导体、光刻、星载成像系统、消费电子、国防等行业的飞速发展，对计量应用的精度、稳定性和效率提出了的严苛要求。传统干涉仪在面对这些高难度场景时，往往在噪声控制、对焦精度、变焦稳定性等方面美国ZYGO共聚焦激光干涉仪存在不足。为了满足行业需求，美国 ZYGO 公司于 2024 年推出了 Qualifire™激光干涉仪，旨在为挑战性的计量任务提供的解决方案。
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飞点模块（Flying Spot Module）：这一模块是 Qualifire 的核心创新之一，采用了全新的环纹抑制技术。该技术巧妙地结合了 ZYGO 的 RoF（Ring of Fire）技术和环纹抑制功能（CARS）技术，形成了一套强大的降噪解决方案。它能够精准消除腔体中的相干空间噪点以及令人困扰的相干牛眼纹，为高精度测量营造了高信噪比的环境，极大地提升了测量数据的可靠性。
平面腔自动对焦功能：摒弃了传统的手动或基于强度的焦点调整方式，采用基于相位的自动对焦方法。这种方法无需额外的调整工具，就能快速且精确地实现对焦，不仅减少了人为操作带来的误差，还显著提高了测量的效率，让操作人员能够更专注于测量本身。
稳定变焦功能：在从 1 倍到 3 倍的变焦过程中，Qualifire 实现了焦点和图像中心不发生偏移的突破。这一特性不仅改善了仪器传递函数（ITF），使得中高频率特征的量化变得更加容易，还保证了在不同变焦倍数下测量数据的连贯性和一致性，为多维度分析提供了可靠的数据基础。
智能附件功能：仪器能够自动识别安装的 “智能附件"，并根据附件的特性自动设置横向分辨率。对于智能球面参考镜 TS，它还能自动设置工件的曲率半径，并精准减去系统误差，进一步提升了计量能力。这种智能化的设计减少了人工设置的繁琐步骤，降低了操作失误的可能性。
结构设计优化：部分型号的重量不到 50 磅（23 千克），紧凑轻便的设计使其便于移动和安装，能适应不同的工作场地。内置移相器（PMR）的设计，有效降低了移动时对内部 PZT 组件的损坏风险，延长了仪器的使用寿命。同时，光学支脚采用密封设计，减少了灰尘积聚，降低了维护成本，保证了仪器长期稳定的运行。
半导体光刻领域：在半导体芯片制造的光刻环节，对光学元件的精度要求。Qualifire 凭借其高精度的测量能力和强大的降噪功能，能够精准测量光刻镜头等关键光学元件的表面形状和波前误差，为光刻设备的高性能运行提供有力保障，进而提高芯片的制造精度和良品率。
星载成像系统制造：星载成像系统需要在的太空环境下工作，对光学元件的稳定性和精度要求苛刻。Qualifire 的稳定变焦功能和智能附件功能，能够满足对星载成像系统光学元件的高精度测量需求，确保其在太空环境中正常工作。
国防光学设备生产：国防领域的光学设备，如侦察卫星的光学镜头、的制导光学系统等，对精度和可靠性要求。Qualifire 能够对这些光学设备的核心元件进行严格检测，保障其在复杂的战场环境中发挥稳定的性能。
消费电子研发：在手机摄像头、虚拟现实设备的光学系统研发中，Qualifire 可以测量光学镜片的各项参数，帮助研发人员优化光学设计，提升产品的光学性能和用户体验。美国ZYGO激光干涉仪