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PRODUCTS CNTERSensofar S lynx 是一款集成了多种光学测量技术的三维表面轮廓仪,旨在为工业检测和科研分析提供高精度的表面形貌数据。该系统通过创新的光学设计,实现了对各类材料表面的非接触式测量。Sensofar S lynx 光学轮廓仪技术解析
产品分类
Sensofar S lynx 是一款多功能光学轮廓测量系统,适用于微纳米尺度表面形貌分析需求。该系统采用模块化光学设计,可满足半导体、精密光学和材料科学等领域的表面测量要求。Sensofar S lynx 光学轮廓仪技术解析
• 结合共聚焦、干涉和白光垂直扫描三种测量技术
• 自动切换测量模式,适应不同表面特性
• 垂直分辨率可达亚纳米级
• 水平分辨率最高可达0.5μm
• 采用高数值孔径物镜,提升测量精度
• 自动对焦与样品导航功能
• 多视野拼接功能,扩大测量范围
• 可选配不同放大倍率物镜
• 自动表面参数计算(粗糙度、台阶高等)
• 三维形貌可视化分析
• 多区域对比测量功能
• 自定义分析模板设置
半导体晶圆与器件表面检测
精密光学元件面形测量
MEMS器件三维形貌表征
功能性涂层表面分析
材料科学研究与质量检测
• 建议在稳定环境条件下使用
• 测量前需进行系统校准
• 根据样品特性选择合适的测量模式
• 高反射/低反射样品可能需要参数调整
Sensofar提供以下专业支持:
系统安装与操作培训
测量方法开发指导
定期维护校准服务
软件功能升级支持
应用技术支持咨询
Sensofar S lynx 通过其多技术融合的测量能力和智能化分析功能,为微纳米表面形貌表征提供了灵活的解决方案。该系统适用于需要高精度表面分析的研发和质量控制场景。Sensofar S lynx 光学轮廓仪技术解析