泽攸ZP3-4微纳探针台精密电学测量平台

产品概述

泽攸ZP3-4微纳探针台精密电学测量平台泽攸ZP3-4微纳探针台是一款适用于微纳器件电学性能测试的精密仪器，主要服务于半导体器件、纳米材料和微电子机械系统（MEMS）等领域的研究与测试需求。该系统采用模块化设计理念，可满足不同规格样品的测试要求。泽攸ZP3-4微纳探针台精密电学测量平台

核心功能特点

精密定位系统

• 采用高精度步进电机驱动

• 三维移动分辨率可达0.1微米级

• 支持手动与电动两种操控模式

• 具备位置记忆与自动复位功能

探针配置方案

• 标准配置支持4个独立探针臂

• 探针角度可多向调节

• 兼容多种规格的商用探针

• 可选配高温或低温探针组件

样品适配性能

• 最大支持6英寸晶圆测试

• 样品台温度控制范围：室温至300℃（选配）

• 可选配真空或惰性气体环境腔体

• 支持倒装芯片等多种封装形式

典型应用场景

1. 半导体器件I-V特性测试

2. 纳米材料电学性能表征

3. MEMS器件参数测量

4. 微纳传感器性能评估

5. 新型电子器件研发测试

操作注意事项

• 建议在防震实验台上使用

• 定期校准定位系统精度

• 探针接触压力需适当控制

• 高温测试时注意操作安全

• 建议配合静电防护措施使用

技术支持服务

泽攸科技提供以下专业支持：

• 设备安装与操作培训

• 测试方案开发咨询

• 定期维护保养服务

• 备品备件供应保障

• 软件功能升级支持

产品价值体现

ZP3-4微纳探针台通过其精密的定位系统和灵活的配置方案，为微纳器件的电学测试提供了可靠的实验平台。该系统适用于需要精确电学测量的研发和质量控制场景。泽攸ZP3-4微纳探针台精密电学测量平台