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PRODUCTS CNTER在精密光学、半导体和制造领域,表面形貌测量对产品质量控制至关重要。ZYGO共聚焦激光干涉仪结合共聚焦显微技术与激光干涉测量原理,为纳米级表面检测提供了有效的解决方案。ZYGO共聚焦激光干涉仪高精度表面测量选择
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在精密光学、半导体和制造领域,表面形貌测量对产品质量控制至关重要。ZYGO共聚焦激光干涉仪结合共聚焦显微技术与激光干涉测量原理,为纳米级表面检测提供了有效的解决方案。
ZYGO共聚焦激光干涉仪的主要优势包括:
高分辨率测量:可实现亚纳米级垂直分辨率,适用于超光滑表面检测
非接触测量:避免接触式测量可能带来的样品损伤
快速扫描:通过高速数据采集提升检测效率
宽范围适用:兼容从粗糙到超光滑的不同表面特性
该设备已成功应用于多个领域:
光学元件检测:透镜、反射镜等光学表面形貌测量
半导体制造:晶圆、光刻掩模版的表面质量评估
精密加工:机械零件、模具的表面粗糙度分析
科研领域:新材料表面特性的微观研究
设备配备专业分析软件,提供:
自动化测量流程
三维形貌重建功能
多种表面参数分析选项
用户友好的操作界面
ZYGO共聚焦激光干涉仪凭借其测量精度和可靠性,为工业检测和科学研究提供了有力的表面分析工具。如需了解该设备的详细技术参数或应用案例,欢迎咨询ZYGO专业技术团队获取更多信息。ZYGO共聚焦激光干涉仪高精度表面测量选择
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