ZYGO激光干涉测量系统技术解析

产品概述

ZYGO激光干涉测量系统是基于光学干涉原理的精密测量设备，适用于光学元件、半导体器件等产品的表面形貌检测需求。该系统采用非接触式测量方式，可提供纳米级精度的表面特征数据。

核心技术特点

测量系统性能

• 采用激光共聚焦干涉测量技术

• 垂直分辨率可达亚纳米级

• 水平分辨率最高0.5微米

• 测量范围覆盖纳米至毫米量级

光学系统配置

• 多规格物镜可选配

• 自动对焦与样品导航功能

• 大视野拼接测量能力

• 高稳定性机械结构设计

数据分析功能

• 三维形貌重构与可视化

• 表面粗糙度等参数计算

• 多区域对比分析工具

• 自定义报告生成模块

典型应用领域

1. 光学镜片面形精度检测

2. 半导体晶圆表面质量评估

3. 精密机械零件形位测量

4. 功能性薄膜表面分析

5. MEMS器件三维形貌表征

操作注意事项

• 建议在稳定环境条件下使用

• 测量前需进行系统校准

• 根据样品特性选择测量模式

• 特殊样品可能需要专用夹具

技术支持服务

ZYGO提供以下专业支持：

• 系统安装与操作培训

• 测量方法开发指导

• 定期维护校准服务

• 软件功能升级支持

产品特点

该系统通过精密的干涉测量技术，为表面形貌分析提供了可靠的检测手段，适用于需要高精度表面测量的研发与质量控制场景。

（注：具体测量性能可能因配置和使用条件存在差异，建议参考实际测试数据。）