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产品简介
Sensofar S Lynx3D表面形貌测量新选择Sensofar S Lynx 是一款高性能光学3D表面形貌测量仪，结合共聚焦和白光干涉技术，适用于微纳米级表面形貌分析。该设备广泛应用于半导体、精密制造、生物医学、材料科学等领域，提供高分辨率、高重复性的测量数据。
产品分类
Sensofar S Lynx 是一款高性能光学3D表面形貌测量仪，结合共聚焦和白光干涉技术，适用于微纳米级表面形貌分析。该设备广泛应用于半导体、精密制造、生物医学、材料科学等领域，提供高分辨率、高重复性的测量数据。Sensofar S Lynx3D表面形貌测量新选择
高精度测量：采用*光学技术，Z轴分辨率可达纳米级，横向分辨率优于亚微米级。
多模式检测：支持共聚焦、白光干涉和相位干涉模式，适应不同表面特性。
快速扫描：高速扫描模式提升检测效率，适用于批量样品分析。
非接触测量：避免样品损伤，适用于软性、脆性或高反光材料。
光学系统：高精度物镜与稳定光源设计，确保测量稳定性。
机械结构：航空级铝合金框架，抗振动、耐磨损，保证长期使用精度。
软件界面：用户友好型分析软件，支持3D建模、粗糙度分析、台阶高度测量等功能。
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 测量技术 | 共聚焦/白光干涉 |
| Z轴分辨率 | ≤0.1 nm |
| 横向分辨率 | ≤0.5 μm |
| 扫描速度 | ≤1 s/测量区域（视模式） |
| 最大样品高度 | 100 mm |
| 适用环境 | 实验室/洁净室 |
S Lynx Standard：基础款，适用于常规表面测量。
S Lynx Pro：增强版，支持更大样品尺寸与更高扫描速度。
S Lynx Nano：超高分辨率版，专用于纳米级表面分析。
半导体行业：晶圆、光刻胶表面检测。
精密制造：刀具、模具、光学元件测量。
生物医学：植入物、生物材料表面分析。
科研机构：材料科学、摩擦学、微纳加工研究。
Sensofar S Lynx 凭借高精度、多模式测量和稳定性能，成为工业检测与科研分析的理想工具。如需了解更多信息，欢迎联系我们的技术团队获取详细方案。Sensofar S Lynx3D表面形貌测量新选择