在微纳尺度测量领域，高分辨率、非接触式的表面形貌分析对质量控制与科研探索至关重要。Sensofar S neox作为一款多功能光学3D表面轮廓仪，融合多项*技术，为用户提供灵活、高效的测量方案。Sensofar S neox多模式光学3D表面测量微观

产品细节与设计

S neox采用模块化光学设计，集成共聚焦显微镜（CL）、干涉显微镜（IM）和白光垂直扫描（PSI）三种测量模式，可针对不同样品特性自动切换优良测量方式。其紧凑的机身与人性化操作界面，适用于实验室与工业现场环境。

核心性能与特点

• •多模式智能切换：根据样品反射率、粗糙度自动选择CL/IM/PSI模式，实现纳米至毫米级高精度测量。

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• •高分辨率成像：配备高数值孔径物镜，垂直分辨率达0.1 nm，横向分辨率达0.3 μm。

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• •高效分析软件：SensoMAP软件支持实时3D建模、粗糙度分析（ISO 25178）、台阶高度测量及批量数据处理。

材质与关键参数

• •光学系统：多层镀膜物镜与低噪声CMOS传感器，确保信号稳定性。

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• •机械结构：高刚性铝合金框架，内置主动隔振设计，减少环境干扰。

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• •环境适应性：工作温度18-25℃，湿度<70%，支持洁净室环境使用。

型号与典型应用

S neox系列包含基础型与高速型（S neox Plus），适用于：

• •半导体：晶圆刻蚀深度、MEMS器件形貌分析

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• •精密光学：透镜表面瑕疵检测、镀膜均匀性评估

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• •材料科学：涂层粗糙度、摩擦磨损研究

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• •物医学：骨骼表面微结构表征

包装与配件

标准包装含主机、校准证书、防尘罩、工具套装及USB。可选配电动旋转台、温控样品台或防振平台，满足特殊需求。

使用流程说明

1.校准：开机后使用标准台阶样块进行Z轴校准。

2.测量：放置样品，软件自动推荐测量模式或手动选择。

3.分析：一键生成高度图、截面轮廓或统计参数报告。

售后服务支持

• •质保政策：核心光学部件24个月保修，终身有偿维护。

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• •技术支持：远程诊断+现场培训，提供年度校准服务。

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• •软件升级：定期推送新算法与兼容性更新。

结语

Sensofar S neox通过多技术融合与智能化操作，为微纳制造与科研创新提供可靠数据支撑。如需技术演示或定制方案，欢迎联系当地授权服务商。Sensofar S neox多模式光学3D表面测量微观