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产品简介
Sensofar三维轮廓仪：共聚焦与干涉测量结合Sensofar白光干涉仪采用非接触式光学测量技术，适用于微纳米级表面形貌分析，可满足半导体、精密制造、材料科学等领域的高精度检测需求。
产品分类
Sensofar三维共聚焦白光干涉光学轮廓仪采用多模式测量技术，结合共聚焦显微镜和白光干涉功能，适用于微纳米级表面形貌分析，满足科研与工业检测需求。Sensofar三维轮廓仪：共聚焦与干涉测量结合
多模式测量：支持共聚焦显微镜（高分辨率）、白光干涉（大范围）、自动切换模式，适应不同样品特性。
光学系统：高数值孔径（NA）物镜，搭配低噪声CMOS传感器，提高成像清晰度。
扫描速度：高速扫描模式可缩短检测时间，适合批量样品测量。
机身采用稳定合金框架，减少环境振动干扰。
光学模块防尘防霉处理，适应实验室及工业环境。
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 垂直分辨率 | 0.1nm（干涉模式） |
| 横向分辨率 | 0.3μm（共聚焦模式） |
| 最大扫描范围 | 10mm（Z轴） |
| 测量速度 | ≤3秒/单次扫描（高速模式） |
S neox 5：多功能型，支持共聚焦、干涉、焦点变化三种模式。
S neox 3：经济实用型，适用于常规表面检测。
半导体晶圆、MEMS器件3D形貌分析
光学镜片、涂层表面粗糙度检测
精密加工件、生物材料微观结构测量
开机预热10分钟，确保系统稳定。
根据样品反射率选择共聚焦或干涉模式。
使用校准标准片定期校验仪器精度。Sensofar三维轮廓仪：共聚焦与干涉测量结合