当前位置：
相关文章
上一个：
返回列表
服务热线：
公司地址：
公司邮箱：
服务热线
17701039158
产品中心
PRODUCTS CNTER
产品简介
Sensofar三维共聚焦轮廓仪多功能表面分析Sensofar白光干涉仪采用非接触式光学测量技术，适用于微纳米级表面形貌分析，可满足半导体、精密制造、材料科学等领域的高精度检测需求。
产品分类
Sensofar三维共聚焦白光干涉光学轮廓仪结合共聚焦显微技术和白光干涉技术，为微纳米级表面测量提供多模式解决方案。该系统适用于科研与工业领域，可满足不同材料的表面形貌分析需求。Sensofar三维共聚焦轮廓仪多功能表面分析
产品性能
•测量模式：共聚焦、白光干涉、相移干涉
•垂直分辨率：0.1nm（干涉模式）
•横向分辨率：0.5μm（共聚焦模式）
•最大测量高度：10mm
•重复性：<0.5%
用材与结构
仪器采用模块化设计，主体为高刚性铝合金框架。光学系统配备多层镀膜物镜，有效减少像差。电动载物台采用精密导轨，确保定位准确性。
参数表
型号 | 测量技术 | 适用样品 | 最大视场 |
|---|---|---|---|
S neox | 共聚焦+干涉 | 光滑/粗糙表面 | 5×5mm |
S mart | 共聚焦+干涉 | 透明/反射材料 | 3×3mm |
用途
•半导体器件三维形貌测量
•MEMS器件表面特征分析
•光学元件面形检测
•生物材料微观结构观察
使用说明
1.根据样品特性选择测量模式
2.使用自动对焦功能确定优良测量位置
3.置扫描参数并开始测量
4.通过专用软件进行三维重构和数据分析
5.导出测量报告（支持多种格式）Sensofar三维共聚焦轮廓仪多功能表面分析