Sensofar多技术融合的表面形貌测量新选择

在科研与工业制造领域，表面形貌的精确测量是提升产品质量的关键环节。Sensofar S neox三维共聚焦白光干涉光学轮廓仪凭借其四合一测量技术，成为多场景应用的理想工具。该设备在传感器头内集成干涉、共聚焦、AI多焦面叠加及膜厚测量技术，用户仅需一键操作即可自动切换适配模式。例如，在半导体制造中，共聚焦模式可实现芯片表面微纳结构的高横向分辨率测量，而干涉模式则适用于光学镜片平整度的纳米级纵向检测。Sensofar多技术融合的表面形貌测量新选择

设备采用模块化设计，提供5×、20×、100×共聚焦物镜与10×、20×干涉物镜组合，支持从微米级到亚纳米级的表面细节捕捉。其核心部件包括高速高分辨率黑白CCD摄像头（2442×2048像素，60fps）与彩色摄像头，配合无运动部件的测量头设计，确保长期稳定性与重复性。数据显示，S neox的Z轴扫描范围达0.1nm-34mm，横向分辨率至0.10μm，垂直分辨率0.1nm，数据采集速度达180帧/秒，典型三维图像获取仅需3秒，大幅缩短检测周期。

参数表

S neox适用于微电子、医疗设备、古生物学等领域，支持ISO 25178与ISO 4287标准粗糙度测量。其配套的SensoSCAN与SensoVIEW软件提供2D/3D视图切换、关键尺寸标注及智能编程功能，用户可通过电动鼻轮快速切换物镜，简化操作流程。

文章二：Sensofar S lynx：灵活高效的小型化3D测量解决方案

针对实验室与中小型企业的空间与预算限制，Sensofar推出S lynx经济型三维共聚焦白光干涉轮廓仪。该设备延续品牌核心技术，将共聚焦、干涉与相位差干涉模式集成于紧凑机身，无需硬件插拔即可通过软件切换测量模式，降低用户成本。其设计简洁但功能多样，可测量金属、陶瓷、聚合物等材质的表面粗糙度与波度，覆盖从光滑到粗糙的各类形貌。

S lynx配备500万像素相机与高亮度LED光源，支持0.1nm垂直分辨率与0.10μm横向分辨率，扫描速度达毫米级每秒，适合快速检测工件与模具。设备采用无限远光学成像系统，结合微显示器扫描共聚焦技术，通过多狭缝图像偏移算法提升数据采集效率，减少系统噪声至1nm以下。其XY平台行程为50mm×50mm，可容纳重量≤10kg的样品，满足小批量生产需求。

应用场景

• 消费电子：检测手机玻璃盖板表面划痕与平整度

• 汽车制造：分析发动机叶片磨损与涂层均匀性

• 材料研究：表征金属疲劳裂纹扩展路径

用户可通过SensoSCAN软件实现自动对焦、照明优化与多级扫描范围调整，软件内置尺寸标注、形状去除与滤波分析工具，支持生成标准化分析模板。设备提供长焦镜头与水镜等可选配件，进一步扩展测量灵活性。Sensofar多技术融合的表面形貌测量新选择