Sensofar 三维共聚焦白光干涉光学轮廓仪在微观测量领域的出色表现,在 S neox 型号上得到充分体现,其技术细节与功能设计均围绕提升测量效率与准确性展开。Sensofar轮廓仪微观世界的精密之眼
共聚焦部分采用基于微型显示器(FLCoS)的技术,摒弃了传统机械扫描结构,实现无运动部件的稳定扫描。这一设计不仅降低了机械磨损带来的精度衰减,还提升了扫描速度,共聚焦图像帧率达 12.5 帧 / 秒,垂直 3D 扫描速度为 8 层 / 秒,对于需要快速获取大面积表面信息的场景尤为适用。干涉物镜提供多种类型选择,包括可变反射率物镜、Michelson 物镜、Mirau 物镜及 Linnik 物镜等,可根据样品特性(如透明程度、表面反射率)灵活搭配,确保干涉信号的稳定性。
设备配备 4 个独立 LED 光源,分别为红 630nm、绿 530nm、蓝 460nm、白 550nm,不同波长的光线在测量中各有优势:较短波长的蓝光适合获取更高的水平分辨率,可识别更细微的结构;较长波长的红光在干涉扫描中穿透能力更强,适用于稍厚的透明样品;三色 LED 交替照明时,能通过光谱差异增强图像对比度,使不同材质的边界更清晰。镜头方面,采用尼康优质 CF60-2 系列平场消色差高分辨率镜头,在增大工作距离(方便放置大型样品)的同时,保证了数值孔径(NA)值,确保成像质量。
在透明薄膜测量领域,该型号表现突出,1 秒内即可完成 10nm - 20μm 厚度范围的薄膜测量,厚度分辨率达 0.1nm,横向分辨率 5μm。这一性能让它在光学元件制造中可用于检测增透膜的厚度均匀性,在薄膜研究中能跟踪薄膜生长过程中的厚度变化,为产品质量提升与技术创新提供有力的数据支撑。Sensofar轮廓仪微观世界的精密之眼