Sensofar 三维共聚焦白光干涉光学轮廓仪中的部分型号采用四合一技术方案,集成共聚焦、干涉、Ai 多焦面叠加和膜厚测量四种功能,通过智能算法实现不同技术的无缝切换,减少了数据采集过程中的噪点干扰,让测量结果更接近样品真实状态。Sensofar轮廓仪领略微观测量魅力
数据采集速度方面,其帧率可达 180fps,标准测量采集速度较传统设备有明显提升。这意味着在相同时间内,可完成更多样品的检测,尤其适合工业生产线的批量检测场景,如电子元件的快速筛选。
各项技术各有侧重:共聚焦技术适合高斜率表面测量,凭借高横向分辨率捕捉细微结构;干涉技术能实现亚埃分辨率,是高度光滑表面(如光学镜片)测量的理想选择;Ai 多焦面叠加技术则针对大粗糙表面,以较快的速度完成三维数据采集。系统在出厂前,使用符合 ISO25178 相关标准的可追溯标准块进行校正,确保测量数据的可追溯性,满足科研数据比对与工业质量认证的要求。
操作软件 SensoSCAN 采用直观的图形化界面,新手用户通过引导式操作流程即可快速进入 3D 测量环境。软件内置多种测量模板,针对不同样品类型(如台阶、沟槽、球面)自动匹配合适的测量参数,降低了操作门槛。在实际应用中,它适用于微型 BUMPS 测量等精密任务,能快速分析其高度、直径和平整度等数据,帮助生产线及时调整工艺参数,提高生产效率与产品质量。无论是科研人员探索新材料的微观特性,还是工程师监控生产过程的质量波动,都能从中获得可靠的测量支持。Sensofar轮廓仪领略微观测量魅力