泽攸 ST800 台阶仪集成了接触式与非接触式测量功能,通过智能化控制系统,为复杂样品的测量提供全面解决方案。泽攸 集成化的台阶测量方案
接触式测量范围 0 - 800μm,垂直分辨率 0.05nm;非接触式光学传感器采用白光干涉原理,测量范围 0 - 100μm,垂直分辨率 0.1nm,两种模式可无缝切换,兼顾深台阶与精细表面的测量需求。
设备工作台采用气浮设计,运动平稳无摩擦,X/Y 行程 200mm,定位精度 5μm,支持自动样品定位与多点测量。软件具备图像拼接功能,可将多个测量区域的形貌图拼接成完整的样品表面形貌,便于整体分析。
用材上,关键部件如导轨、丝杠等选用进口高精度产品,确保设备的长期稳定性。使用说明中详细介绍了自动测量流程:通过相机定位样品特征,软件规划测量路径,自动完成多个点的测量并生成综合报告。适用于精密仪器制造中的表面质量检测、高校科研中的材料表征等场景,为用户提供高效、全面的测量支持。泽攸 集成化的台阶测量方案
使用时,将样品固定在工作台上,调整触针位置使其轻触样品表面,设置扫描速度(0.1 - 1mm/s)和扫描长度后启动测量。适用于薄膜厚度检测、涂层台阶分析等场景,如半导体晶圆的镀膜厚度测量,为生产质量控制提供数据支持。