ZYGO光学轮廓仪便捷的3D表面测量

ZYGO光学轮廓仪便捷的3D表面测量

ZYGO公司的ZeGage Pro 3D光学轮廓仪是一款设计紧凑、操作便捷的非接触式表面测量系统。它继承了ZYGO在光学干涉测量领域的经验，旨在为生产线或实验室提供可靠的面形测量解决方案。

产品细节与用材：
ZeGage Pro采用一体式设计，结构坚固。其核心光学系统被密封在一个热稳定性和机械稳定性较高的外壳内，有效减少了环境波动对测量结果的干扰。仪器底座和主体结构采用优质合金材料，保证了设备的刚性。标准工作台由大理石或类似稳定材料制成，为样品提供了平稳的测量平台。

产品性能与用途：
该仪器基于相干扫描干涉（CSI）技术，能够对从超光滑到粗糙（最高可达1.2 mm RMS）的多种表面进行三维形貌测量。它适用于质量控制、生产检测和研发等领域，常见于测量半导体、光学元件、精密加工部件、材料表面等的粗糙度、台阶高度、面形轮廓等参数。其自动化功能简化了操作流程，用户可通过软件轻松设置测量点位并执行自动测量。

使用说明：
操作ZeGage Pro通常通过随机附带的MetroPro®软件进行。用户将样品放置于工作台上，通过软件控制电动载物台移动至测量位置，使用内置摄像头聚焦，然后选择测量程序并开始扫描。仪器会自动完成一系列干涉图的采集与计算，并生成三维形貌图和多达上百种参数的分析结果。

主要参数表：

ZYGO光学轮廓仪便捷的3D表面测量