ZYGO光学轮廓仪多用途形貌测量平台

ZYGO光学轮廓仪多用途形貌测量平台

NewView™ 9000是ZYGO公司的一款经典3D光学轮廓仪，以其灵活性和扩展性而受到关注。它为用户提供了一个功能强大的平台，以满足从基础研究到高精度工业检测的多种需求。

产品细节与用材：
NewView 9000采用模块化设计，用户可以根据实际应用选择不同的光源、物镜、平台和软件模块。系统主体为高刚性金属结构，光学隔震工作台有效隔离了外部振动。其精密机械部件和高质量光学元件确保了系统的长期稳定性和测量可重复性。

产品性能与用途：
该系统同样基于CSI技术，并可选配多种物镜，从而在横向视野和分辨率之间取得平衡。它不仅能够测量高度、粗糙度和台阶，还能进行薄膜厚度分析（选配）和应力 mapping。其用途广泛，适用于微电子MEMS器件、精密光学表面、蓝宝石衬底、金属加工表面等多种样品的高精度三维形貌分析。

使用说明：
用户通过MetroPro®软件控制NewView 9000。其操作流程包括样品放置、选择合适物镜、自动或手动聚焦、设置扫描参数并执行测量。系统的自动化程度高，可编程进行多点、多区域的批量测量，非常适合进行统计过程控制（SPC）。

主要参数表：

ZYGO光学轮廓仪多用途形貌测量平台