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台式电镜&台阶仪&原位分析
泽攸台阶仪
全自动台阶仪JS2000B应用场景
全自动台阶仪JS2000B应用场景在科研与工业测量的众多设备中,手动台阶仪以其直观的操作和可靠的性能占据着一席之地。泽攸科技的JS10B手动台阶仪正是这样一款产品,它旨在为使用者,特别是教学入门、基础研发和常规质检环节,提供一个稳定且易于掌握的平台。
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面对高通量、高一致性的现代工业检测需求,全自动化测量已成为提升效率和保证质量的关键。泽攸JS2000B全自动台阶仪正是为应对这一挑战而设计,它集成了先进的运动控制、视觉定位和数据分析软件,旨在实现从样品放置到报告生成的全流程自动化。
一、产品设计与用材
JS2000B的设计体现了集成化和精密化的理念。其基座通常采用天然大理石或高性能陶瓷材料,这些材料具有优异的热稳定性和极低的温度膨胀系数,确保了设备在长时间工作中平台的几何精度保持稳定。
它搭载了一个全电控的XYZ三维移动平台。X轴和Y轴构成了精密的平移台,用于定位样品的不同测量区域;Z轴则用于控制传感器的升降。所有轴系都采用高精度丝杠或直线电机驱动,并配有高分辨率的编码器进行闭环反馈控制,确保了定位的准确性和重复性。自动对焦系统和高清CCD摄像头的加入,使得操作员无需目视观察,即可在计算机屏幕上清晰看到样品表面,并精确定位测量点。
二、产品性能与参数
JS2000B的性能指标旨在满足严苛的工业标准。其测量范围覆盖10mm,在保证大行程的同时,其重复性可控制在≤0.3μm以内,展现了出色的测量稳定性。平台的移动范围通常为100mm x 100mm,允许对较大样品或多个样品进行程序化批量测量。
其核心强大之处在于功能丰富的专业测量软件。软件不仅控制所有硬件动作,还支持:
多点编程测量: 用户可在软件地图上点击或输入坐标,轻松设置数十个甚至上百个测量点。
自动对焦与边缘识别: 软件可自动找到样品表面最佳焦距,甚至能识别图案边缘,实现测量点的精确定位。
三维形貌重构: 通过进行多点扫描,软件能够将点云数据组合起来,生成样品表面的二维轮廓图或三维形貌图,提供更丰富的表面信息。
高级数据分析与报告导出: 内置强大的数据分析工具,可自动计算台阶高度、宽度、粗糙度等参数,并生成定制化的检测报告。
三、详细用途与使用说明
JS2000B广泛应用于对效率和精度有较高要求的领域,如半导体晶圆的膜厚检测、MEMS器件的结构分析、光学透镜的矢高测量、硬盘磁头的台阶高度检测以及科研机构进行大量重复性实验。
其使用流程高度自动化:
初始化: 开机预热,启动软件,设备进行初始化自检。
放置样品: 将样品置于平台(可选配自动样品台实现批量上样)。
程序编制: 通过CCD图像定位,在软件中编制测量程序(设定测量点序列、路径、参数)。
全自动运行: 启动测量程序,设备将自动地执行:平台移动至指定点 -> 自动对焦 -> 测针接触测量 -> 数据记录 -> 移至下一点。操作员可离开现场处理其他工作。
查看报告: 程序运行完毕后,软件自动生成综合报告,可导出为Excel、PDF等格式。
参数表:
属性 | 参数 |
---|---|
型号 | JS2000B |
类型 | 全自动 |
测量范围 | 10mm |
最小示值 | 0.1μm |
重复性 | ≤0.3μm |
平台移动范围 | 100mm × 100mm |
传感器类型 | 差动电容式 |
定位系统 | 编码器闭环控制 |
视觉系统 | 高清CCD相机,自动对焦 |
软件功能 | 多点编程、3D成像、自动报表 |
泽攸JS2000B全自动台阶仪代表了接触式台阶测量的较高水平,它通过自动化将人力从重复劳动中解放出来,同时通过精密的硬件和智能的软件保证了测量数据的一致性与可靠性。