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JS2000B:全自动台阶测量设备

产品简介

JS2000B:全自动台阶测量设备
在精密制造、半导体加工等对测量效率和精度要求较高的领域,全自动台阶仪成为提升工作质量的重要设备。JS2000B 全自动台阶仪凭借自动化操作、稳定的性能表现,为批量样品的台阶高度、薄膜厚度等参数测量提供了高效解决方案,适合对测量流程有标准化要求的场景。

产品型号:
更新时间:2025-09-10
厂商性质:代理商
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JS2000B:全自动台阶测量设备

在精密制造、半导体加工等对测量效率和精度要求较高的领域,全自动台阶仪成为提升工作质量的重要设备。JS2000B 全自动台阶仪凭借自动化操作、稳定的性能表现,为批量样品的台阶高度、薄膜厚度等参数测量提供了高效解决方案,适合对测量流程有标准化要求的场景。
产品细节:自动化设计提升操作体验
JS2000B 的机身采用合金框架与铸铝底座组合结构,整体稳定性强,表面经过防静电处理,能减少环境干扰。设备前端配备 15 英寸触控显示屏,操作界面包含测量程序设置、数据查看、设备状态监控等模块,图标清晰,触控响应灵敏,操作人员可快速完成参数设置。
测量平台为大理石材质,平面度误差小,尺寸达 200mm×150mm,可同时放置多个样品。平台下方配备伺服电机驱动的 XY 轴移动系统,移动范围为 150mm×100mm,定位精度达微米级,能自动将样品的待测区域移至测头下方。平台边缘设有样品定位槽,配合气动夹具可快速固定不同尺寸的样品,减少装夹时间。
测头系统采用一体化设计,测头针尖为天然金刚石,半径≤1μm,安装在 Z 轴精密导轨上。Z 轴驱动采用压电陶瓷电机,升降精度达纳米级,能精准控制测头与样品表面的接触力度。设备内部集成了光学定位装置,可通过摄像头捕捉样品表面标记点,实现测量位置的自动识别与定位。
设备后部设有 USB、以太网等数据接口,支持与电脑、打印机连接,方便数据导出和报告生成。内置的散热风扇采用智能温控设计,仅在设备温度较高时启动,减少运行噪音。
产品性能:自动化流程保障测量稳定性
JS2000B 的测量范围为 0-1000μm,最小分辨力达 0.1nm,能满足从微米到纳米级的台阶测量需求。在重复性方面,对同一标准台阶进行 10 次测量,偏差值较小,适合作为批量生产中的质量控制设备。
设备的自动化测量流程包含自动对焦、自动找点、自动测量、数据记录等环节,单次测量周期可控制在 30 秒以内,大幅提升了测量效率。测头测力可通过软件设置,范围为 5-100mN,调节步长 1mN,能适应从柔软薄膜到硬质合金的多种样品。
测量过程中,设备会实时监测测头状态和样品位置,若出现测头异常或样品偏移,会自动暂停并发出提示,避免设备损坏和数据错误。设备支持多组测量程序存储,操作人员可针对不同样品预设测量参数,下次使用时直接调用,减少重复设置时间。
在环境适应性方面,JS2000B 能在温度 20±2℃、湿度 40%-60% 的环境中稳定工作,配合设备自带的温度补偿功能,可减少环境温度波动对测量结果的影响。
用材、参数与用途
JS2000B 的关键部件选用高精度材料,测头杆为钨合金材质,刚性好且热膨胀系数小;XY 轴导轨采用精密滚珠丝杠,配合花岗岩导轨基座,保证移动精度;Z 轴压电陶瓷电机响应速度快,位移分辨率高;触控显示屏为工业级,抗干扰能力强,适合车间环境使用。
部分参数如下:
  • 测量范围:0-1000μm

  • 最小分辨力:0.1nm

  • 测头针尖半径:≤1μm

  • 测力范围:5-100mN(可调)

  • XY 轴移动范围:150mm×100mm

  • 定位精度:±1μm

  • 设备重量:约 80kg

  • 供电要求:AC 220V±10%,50Hz

该设备广泛应用于半导体制造、光学元件加工、精密模具等领域。在半导体行业,可测量芯片上金属布线的台阶高度、氧化层厚度;光学领域用于检测镜片镀膜的厚度均匀性;精密模具加工中,能检测模具型腔表面的微小台阶和粗糙度关联参数,为加工精度控制提供数据支持。
使用说明
使用前需检查设备供电和接地是否正常,开机后设备会进行自检,约 3 分钟后进入待机状态。将样品放置在测量平台的定位槽内,启动气动夹具固定样品,通过显示屏上的摄像头预览画面,框选需要测量的区域,或调用预设的测量程序。
在软件中设置测量参数:包括测力大小、采样点数、移动速度等,点击 “开始测量" 后,设备会自动完成定位、测量、数据存储等操作。测量完成后,可在屏幕上查看测量结果和曲线,也可导出至电脑生成报告。
操作时需注意,样品表面应清洁无杂质,避免划伤测头;装夹样品时避免用力过大导致样品变形;测量完成后,需将测头移动至安全位置再取下样品;定期清洁测量平台和测头,保持设备整洁。
设备维护方面,建议每月检查导轨润滑情况,每季度校准测头零点,每年由专业人员进行精度校验,确保设备长期稳定工作。
JS2000B 全自动台阶仪以其自动化的操作流程、稳定的测量性能和广泛的适用性,为精密制造领域的台阶测量提供了高效解决方案,适合对测量效率和精度有较高要求的企业和实验室使用。


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