探索微观世界ZYGO 光学轮廓仪​

探索微观世界ZYGO 光学轮廓仪

在精密制造与科学研究领域，对表面形貌进行非接触、高细节的测量是一项常见需求。ZYGO ZeGage Pro 3D光学轮廓仪为此类应用提供了一个值得考虑的解决方案。它基于白光干涉技术（VSI）和相移干涉技术（PSI），能够以光学方式快速重建表面的三维形貌。

ZeGage Pro的设计注重实用性与稳定性。其主体结构采用优质铸铁和低热膨胀系数的材料，旨在减少环境温度波动对测量平台稳定性的影响。集成化的设计将光源、干涉镜头、精密导轨和控制系统融为一体，外观紧凑，节省空间。

该仪器的性能表现能满足多种工业检测标准。其垂直分辨率可达亚纳米级别，横向分辨率则与所选物镜的放大倍率相关，提供了多种倍率选项以适应不同视场和分辨率的需求。测量速度方面，它能在数秒内完成一次三维扫描，提升了检测效率。

参数表示例（具体型号可能略有差异）：

ZeGage Pro的用途广泛，适用于半导体、微电子、精密光学、材料科学、汽车零部件等多个行业。它可以测量表面的粗糙度、台阶高度、平面度、体积、缺陷分析等，为产品质量控制、研发过程和失效分析提供数据支持。

使用说明方面，ZeGage Pro配备了直观的操作软件。用户通过电脑即可控制仪器的全部功能，流程包括：选择测量模式和物镜、放置样品、调整焦距、设置扫描参数、开始测量并分析结果。软件内置了符合ISO、ASME等标准的分析工具，可生成丰富的二维、三维图表和报告。为保证测量准确性，建议在无尘、无振动且温度稳定的环境中操作。

总而言之，ZYGO ZeGage Pro 3D光学轮廓仪是一款集成了成熟光学技术、稳定机械结构和友好软件系统的测量工具，为探索微观表面世界提供了清晰视角。

探索微观世界ZYGO 光学轮廓仪