ZYGO ZeGage Pro：高效3D表面测量方案​

ZYGO ZeGage Pro：高效3D表面测量方案

在现代质量控制实验室中，测量仪器不仅要提供可靠数据，还需兼顾效率与易用性。ZYGO ZeGage Pro 3D光学轮廓仪正是基于这样的理念而设计，旨在成为生产线旁或研究实验室里的一款实用工具。

该产品的核心性能体现在其平衡的测量能力上。它能够处理从相对光滑到相当粗糙的各种表面，这得益于其自动切换的VSI和PSI两种模式。对于大范围、高陡度的形貌，VSI模式可以快速完成测量；而对于超光滑表面纳米级的细微起伏，PSI模式则能提供其细节信息。

在用料方面，ZeGage Pro的干涉镜组由多层镀膜的高质量光学玻璃制成，旨在优化光路效率和减少杂散光。精密导轨和驱动系统确保了样品扫描的平稳与定位的准确性。整体外壳不仅起到保护作用，其设计也考虑了电磁兼容性和散热需求。

其典型型号可能包含以下配置：

ZeGage Pro的用途聚焦于精密计量。它可用于测量集成电路芯片的引线高度、硅片的翘曲度、光学镜面的面形误差、MEMS器件的结构尺寸、涂层厚度、摩擦磨损分析等，是连接研发设计与生产制造的重要质检环节。

使用说明强调了自动化与可重复性。用户只需简单培训即可上手操作。流程通常为：开机预热、将样品固定在载物台上、在软件中选择预设的测量程序或自定义参数、启动自动测量。仪器可自动对焦、识别特征并完成扫描。分析模块允许用户自定义测量报告格式，并保存工作流程，便于对同类零件进行批量检测。

ZYGO ZeGage Pro 3D光学轮廓仪通过其综合性能与用户友好设计，致力于帮助用户提升表面质量检测的效率和数据的价值。

ZYGO ZeGage Pro：高效3D表面测量方案