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布鲁克三维光学轮廓仪使用指南布鲁克ContourX-500三维光学轮廓仪通过白光干涉技术，为表面测量提供了一种解决方案。其设计兼顾了实验室和工业场景的需求，可用于多种材料的形貌表征。
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布鲁克三维光学轮廓仪使用指南
布鲁克ContourX-500三维光学轮廓仪是一款基于白光干涉原理的测量设备，适用于表面形貌的三维重建。以下内容介绍其结构、性能及操作方法。
产品结构包括光学系统、机械平台和电子控制部分。光学系统采用Michelson干涉光路，配备可调光圈和滤光片轮，适应不同样品反射率。机械平台采用丝杠驱动，移动精度为0.1μm，带有振动隔离设计。电子控制单元管理数据采集和运动控制，通过USB接口与计算机通信。
材料选择上，外壳为冷轧钢板喷涂处理，内部支架采用铝合金，光学部件安装在铸铁基座上以减少热变形。样品夹具有磁性固定和夹具固定两种方式。
性能参数：
垂直测量范围：5mm
横向分辨率：取决于物镜，最高0.35μm
重复性：＜0.5% (@1σ)
扫描速度：可调，最大0.5mm/s
数据点间距：0.1μm至10μm可设
参数表：
型号：ContourX-500
测量原理：白光干涉
物镜：标配10X，可选其他
平台移动范围：100mm x 100mm
重量：约40kg
电源：AC 220V, 50Hz
软件：Vision64
用途覆盖微加工表面检测、涂层均匀性评估、摩擦学研究和微流体通道测量。在学术研究和工业检测中均有应用。
使用说明：开机后预热10分钟，启动软件并初始化系统。选择测量程序，设置扫描范围和步长。进行光强校准和背景校正，放置样品后开始测量。数据可导出为CSV或图像格式。每月建议检查光路对齐和轨道润滑。
ContourX-500的设计考虑了用户操作的便利性，适合长时间测量任务。
布鲁克三维光学轮廓仪使用指南