布鲁克解锁微观形貌的“透视之眼”

布鲁克解锁微观形貌的“透视之眼"

在半导体制造、精密加工与材料科学领域，表面形貌的微小起伏往往决定着产品的性能与寿命。如何实现非接触、高效率的纳米级三维测量？布鲁克ContourX-200三维光学轮廓仪以创新技术突破传统局限，为实验室与生产线提供了一款兼具灵活性与专业性的表面计量解决方案。

核心性能：从亚纳米到毫米级的全量程覆盖

ContourX-200基于布鲁克四十年白光干涉（WLI）技术积累，通过双色LED光源与多镜头系统，实现了垂直分辨率≤0.01nm、水平分辨率0.13μm（AcuityXR模式下）的亚纳米级精度。其最大扫描量程达10mm，可覆盖从MEMS器件到大型精密零件的测量需求，无需拼接即可完成全尺寸表面形貌分析。设备支持2.5X至115X的物镜组合，搭配500万像素摄像头与150mm×150mm电动XY载物台，兼顾大视场与高分辨率，单次测量采样点数超120万，显著提升数据统计效率。

用材与结构：稳定与灵活的平衡之道

设备主体采用高刚性航空铝材与精密导轨，配合主动防震台设计，有效隔离环境振动干扰，确保测量重复性≤0.1%（1σ标准差）。电动载物台支持±6°倾斜校正与100mm垂直行程，可适配曲面、倾斜样品及微小零件的定位需求。针对不同反射率表面（0.05%-100%），设备配备双色照明系统与自适应光强调节算法，从高反金属到低反聚合物均能清晰成像，避免传统共聚焦显微镜的信号衰减问题。

参数速览：技术细节一目了然

应用场景：从研发到量产的全流程支持

• 半导体行业：测量晶圆表面平坦度、薄膜台阶高度，支持RD进封装工艺的厚度分析。

• 精密制造：检测刀具、模具表面光洁度，量化磨损量与纹理方向。

• 材料科学：分析涂层、镀层的表面质量，对比磨损前后的形貌变化。

• 医疗器械：评估人工关节、植入物的表面粗糙度，确保生物相容性。

操作体验：智能化设计降低使用门槛

设备搭载VisionXpress™简化版软件，提供一键式自动对焦、强度调节与数据保存功能，新用户经短期培训即可完成基础测量。对于高阶需求，Vision64®软件支持ISO 25178、ASME B46.1等国际标准分析，提供Sa、Sq、Sz等200余种粗糙度参数，并可生成定制化报告。通过批量处理脚本与TCP/IP接口，设备可无缝集成至自动化生产线，实现24小时无人值守运行。

结语：以细节定义专业，以灵活赋能创新

ContourX-200三维光学轮廓仪凭借其全量程覆盖能力、多场景适应性及智能化操作，成为表面计量领域的“多面手"。无论是高校实验室的前沿研究，还是工业车间的过程监控，它都能以可靠的性能与灵活的配置，助力用户解锁微观世界的更多可能。