布鲁克轮廓仪非接触测量的“全能型选手”

布鲁克轮廓仪非接触测量的“全能型选手"

在精密加工与质量控制领域，表面形貌的微小缺陷可能引发产品性能的显著波动。如何实现高效、无损的三维测量？布鲁克ContourX-200三维光学轮廓仪以白光干涉技术为核心，结合模块化设计与智能化软件，为半导体、医疗、航空航天等行业提供了一款兼顾精度与易用性的表面计量工具。

技术亮点：白光干涉的深度应用

ContourX-200采用布鲁克的WLI技术，通过分析干涉条纹的相位变化，实现垂直方向的亚纳米级分辨率。与传统共聚焦显微镜相比，WLI技术不受样品反射率限制，可在0.05%-100%的宽反射率范围内稳定工作，尤其适合低反光材料（如碳纤维、未抛光金属）的测量。设备支持全量程闭环扫描，从0.1nm的微观起伏到10mm的宏观台阶均可连续测量，避免拼接误差，确保数据完整性。

硬件配置：模块化设计满足多样需求

• 光学系统：配备2.5X至115X六档物镜，支持手动或电动转塔切换，重复定位精度≤0.1μm。

• 载物台：150mm×150mm电动XY平台，搭配100mm垂直行程与±6°倾斜功能，可适配曲面样品与微小零件。

• 光源与成像：双色LED（白光/绿光）提供稳定照明，500万像素摄像头支持1200×1000分辨率成像，采样速率达37μm/s。

• 防震设计：集成主动防震台与高刚性机身，有效隔离环境振动，确保测量稳定性。

参数对比：技术指标的差异化优势

软件功能：从基础到高阶的全覆盖

• VisionXpress™：简化版界面提供一键式自动测量、实时分析与报告生成功能，适合快速质检场景。

• Vision64®：支持ISO 25178、ASME B46.1等标准分析，提供200余种粗糙度参数与3D纹理分析工具，并可定制分析模板。

• 自动化扩展：通过SDK开发包与TCP/IP接口，设备可集成至MES系统，实现批量测量与数据追溯。

典型应用：跨行业的解决方案

• 半导体制造：测量晶圆表面粗糙度与薄膜厚度，监控化学机械抛光（CMP）工艺稳定性。

• 精密模具：检测模具型腔表面缺陷，量化磨损量以优化维护周期。

• 生物医疗：评估人工心脏的表面光洁度，确保血液相容性。

• 航空航天：分析涡轮叶片涂层均匀性，预防高温腐蚀导致的性能衰减。

操作流程：四步完成高效测量

1. 样品固定：将样品放置于电动载物台，调整高度至物镜工作距离。

2. 参数设置：选择物镜倍率、测量模式（2D/3D）与分析标准。

3. 自动测量：启动一键式扫描，设备自动完成对焦、成像与数据分析。

4. 报告输出：生成包含粗糙度参数、形貌图与趋势分析的定制化报告。

结语：以技术沉淀赋能创新，以灵活配置适应未来

ContourX-200三维光学轮廓仪凭借其宽反射率范围、大扫描量程与智能化软件，成为表面计量领域的“多面手"。无论是高校实验室的前沿探索，还是工业车间的过程监控，它都能以可靠的性能与灵活的配置，助力用户应对多样化的测量挑战。