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PRODUCTS CNTER布鲁克轮廓仪实验室与车间的“桥梁型设备"在追求高效生产的今天,表面形貌测量需兼顾研发阶段的深度分析与量产环节的快速质检。布鲁克ContourX-200三维光学轮廓仪以“平衡性能与灵活性"为设计理念,通过模块化硬件、智能化软件与稳定结构,为不同场景提供了一款可定制化的表面计量解决方案。
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布鲁克轮廓仪实验室与车间的“桥梁型设备"
在追求高效生产的今天,表面形貌测量需兼顾研发阶段的深度分析与量产环节的快速质检。布鲁克ContourX-200三维光学轮廓仪以“平衡性能与灵活性"为设计理念,通过模块化硬件、智能化软件与稳定结构,为不同场景提供了一款可定制化的表面计量解决方案。
ContourX-200聚焦于“大多数实验室的日常需求",在测量范围、系统性能与占地面积间实现平衡。其200mm×200mm的XY平面行程与200mm的Z向行程,可覆盖半导体晶圆、MEMS器件与小型精密零件的测量需求,同时保持紧凑的台式设计,节省实验室空间。设备采用高刚性铝材与精密导轨,搭配主动防震台,确保在普通车间环境下也能实现≤0.1%的测量重复性。
光学头:支持2.5X至115X物镜手动或电动切换,可选配长工作距离(LWD)物镜以适配高样品。
载物台:150mm×150mm电动XY平台,提供100mm垂直行程与±6°倾斜功能,支持曲面样品测量。
光源系统:双色LED(白光/绿光)提供稳定照明,适应不同反射率表面。
成像模块:500万像素黑白或彩色摄像头,支持1200×1000分辨率成像,采样速率37μm/s。
参数项 | 规格 |
---|---|
垂直分辨率 | ≤0.01nm(RMS重复性0.01nm) |
水平分辨率 | 0.13μm(AcuityXR模式) |
最大扫描量程 | 10mm(Z向) |
视场范围 | 0.1-20mm²(依物镜调整) |
载物台负载 | 5kg(最大) |
环境适应性 | 温度10-40℃,湿度≤70%RH |
数据接口 | USB 3.0、TCP/IP、SDK开发包 |
VisionXpress™:简化版界面提供自动对焦、强度调节与一键式报告生成功能,适合生产线快速质检。
Vision64®:支持ISO 25178、ASME B46.1等标准分析,提供200余种粗糙度参数与3D纹理分析工具,并可定制分析模板。
自动化扩展:通过脚本编辑器与MES系统集成,实现批量测量、数据追溯与异常报警。
半导体行业:测量晶圆表面粗糙度与薄膜厚度,监控化学机械抛光(CMP)工艺稳定性。
汽车制造:检测发动机零件表面缺陷,量化磨损量以优化维护周期。
消费电子:分析手机玻璃盖板的光洁度,确保触控灵敏度与显示效果。
能源领域:评估燃料电池双极板表面粗糙度,提升气体扩散效率与耐久性。
某精密模具厂引入ContourX-200后,通过以下步骤实现测量效率提升:
定制模板:在Vision64®中预设模具型腔的粗糙度分析模板,包含Sa、Sz等关键参数。
批量测量:将多个模具固定于载物台,通过脚本编辑器设置自动测量路径。
数据追溯:测量结果自动上传至MES系统,生成包含时间戳与操作员信息的报告。
异常预警:当粗糙度超出阈值时,系统触发报警并暂停生产线,防止缺陷品流出。
ContourX-200三维光学轮廓仪凭借其模块化设计、智能化软件与稳定结构,成为连接实验室与车间的“桥梁型设备"。无论是高校的前沿研究,还是工业的量产需求,它都能以灵活的配置与可靠的性能,助力用户实现表面计量的高效化与标准化。
布鲁克轮廓仪实验室与车间的“桥梁型设备"